建造材料与表面处理(Construction Materials and Surface Finishes).PDF

Construction Materials and Surface Finishes （建造材料與表面處理） General Requirements （一般需求） 一般需求 無塵室應建造在一氣密(airtight)結構內 內部表面的處理應要光滑且易於清潔 內部表面的處理應要有足夠的韌度 某些製程的化學藥品可能會造成腐蝕或穿 透傳統的表面處理 使用電鍍塗佈的建造材料 建造材料應要求產生最小量的氣體釋放 （outgassing ） 7-3 靜電電荷之問題 (建築材料) 藉由兩種不同表面介質的摩擦產生 靜電電荷將吸引空氣中微粒子 靜電荷放電將導致電子製程元件之破壞 使用靜電問題減至最小程度的建築材料 7-4 無塵室內氣體釋放的來源 分子污染(molecular contamination) 某些建造材料的使用造成化學成份的氣體 釋放（outgassing ），是製程中所無法接受 的 。 無塵室地板之塑膠板片塗層 某些型式的牆版和天花板面板 密封各種接頭的矽膠密封劑(silicon sealant) 黏著的膠黏劑(adhesives) 7-5 無塵的建造方式 傳統化（conventional ） 模組化（modular ） 7-6 傳統化（conventional ） 用磚塊建構，使用濕灰泥牆面塗平等方式 適合修改擴充 廣泛應用在無塵室建造 7-7 牆對牆角落之 導角曲線約直徑 25 mm(1 inch)到 50 mm(2 inch) 牆對地板接合 角落以圓導角曲 線直徑100 mm(4 inch)之1/4 7-8 模組化（modular ） 7-9 門和窗 無塵室的門通常會安裝絞鏈以使無塵室保持氣 密及維持正壓。 門空氣洩漏量減至最少。 門加玻璃，可觀察氣鎖區是否在使用中。 無塵室須裝配有窗戶（參觀走道），此在勸阻 參觀者進入無塵室方面有一定之效用。 窗戶的數目應儘量保持在最少量。 7-10 地板 使用混凝土再加上一層平滑不滲水且耐用 的表面，可對化學藥品具有抵抗力，而且 具有抗滑特性。 使用具有良好抗靜電地板或具最低氣體釋 放性質的地板。 導電地板之使用 7-11 天花板 懸吊式(suspended)或自我支撐式 (self-supporting) 7-12 氣體釋放與靜電之關係 可燃性氣體之釋放 靜電(