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毫米波椭偏法测量介质的复介电常数-上海大学学报
第16卷 第4期 上 海 大 学 学 报 (自然 科 学 版) Vol.16No.4
2010年8月 JOURNALOFSHANGHAIUNIVERSITY(NATURALSCIENCE) Aug.2010
doi:10.3969/j.issn.10072861.2010.04.008
·研究简报 ·
毫米波椭偏法测量介质的复介电常数
1 1 2 1 3 1
李素萍 , 王子华 , 张友俊 , 张 胜 , 李铭祥 , 李 英
(1.上海大学 通信与信息工程学院,上海200072;2.上海海事大学 信息工程学院,上海200135;
3.上海大学 电子物理研究所,上海201800)
摘要:将椭圆偏振测量法(椭偏法)的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段,对毫米波椭偏法测量原理
进行理论分析,使用已构建的实验装置进行测量.通过对测量结果的分析,选择合适的入射角,经过大量测试,计算
出被测介质材料的复介电常数.
关键词:复介电常数;椭圆偏振测量法(椭偏法);反射系数;毫米波
中图分类号:TN015 文献标志码:A 文章编号:10072861(2010)04037105
EllipsometryforMeasurementofComplexPermittivityofMaterials
inMillimeterWaveBand
1 1 2 1 3 1
LISuping, WANGZihua, ZHANGYoujun, ZHANGSheng, LIMingxiang, LIYing
(1.SchoolofCommunicationandInformationEngineering,ShanghaiUniversity,Shanghai200072,China;
2.SchoolofInformationEngineering,ShanghaiMaritimeUniversity,Shanghai200135,China;
3.InstituteofElectronicPhysics,ShanghaiUniversity,Shanghai201800,China)
Abstract:Theelectromagneticfrequencybandofellipsometryisextendedfromvisiblelightandinfrared
bandtomillimeterwaveband.Weanalyzethemeasurementprincipleofellipsometryinmillimeterwave
band,andcarryoutexperimentsusingaselfbuiltmeasurementapparatus.Fromthemeasuredresults,an
appropriateincidentangleischosen.Weobtaincomplexpermittivityofmaterialsbasedonalargeamount
ofmeasureddata.
Keywords:complexpermittivity;ellipsometry;reflectioncoefficient;millimeterwave
[14]
应用现代光电信息技术来获取物质和材料的特 法(椭偏法) 是通过检测样品的反射或透射波相
征信息(如物理和结构参量)是信息科学的重要课 对
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