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毫米波椭偏法测量介质的复介电常数-上海大学学报.PDF

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毫米波椭偏法测量介质的复介电常数-上海大学学报

第16卷 第4期 上 海 大 学 学 报 (自然 科 学 版) Vol.16No.4 2010年8月 JOURNALOFSHANGHAIUNIVERSITY(NATURALSCIENCE) Aug.2010   doi:10.3969/j.issn.10072861.2010.04.008  ·研究简报 · 毫米波椭偏法测量介质的复介电常数 1 1 2 1 3 1 李素萍 , 王子华 , 张友俊 , 张 胜 , 李铭祥 , 李 英 (1.上海大学 通信与信息工程学院,上海200072;2.上海海事大学 信息工程学院,上海200135; 3.上海大学 电子物理研究所,上海201800) 摘要:将椭圆偏振测量法(椭偏法)的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段,对毫米波椭偏法测量原理 进行理论分析,使用已构建的实验装置进行测量.通过对测量结果的分析,选择合适的入射角,经过大量测试,计算 出被测介质材料的复介电常数. 关键词:复介电常数;椭圆偏振测量法(椭偏法);反射系数;毫米波 中图分类号:TN015     文献标志码:A     文章编号:10072861(2010)04037105  EllipsometryforMeasurementofComplexPermittivityofMaterials inMillimeterWaveBand 1 1 2 1 3 1 LISuping, WANGZihua, ZHANGYoujun, ZHANGSheng, LIMingxiang, LIYing (1.SchoolofCommunicationandInformationEngineering,ShanghaiUniversity,Shanghai200072,China; 2.SchoolofInformationEngineering,ShanghaiMaritimeUniversity,Shanghai200135,China; 3.InstituteofElectronicPhysics,ShanghaiUniversity,Shanghai201800,China) Abstract:Theelectromagneticfrequencybandofellipsometryisextendedfromvisiblelightandinfrared bandtomillimeterwaveband.Weanalyzethemeasurementprincipleofellipsometryinmillimeterwave band,andcarryoutexperimentsusingaselfbuiltmeasurementapparatus.Fromthemeasuredresults,an appropriateincidentangleischosen.Weobtaincomplexpermittivityofmaterialsbasedonalargeamount ofmeasureddata. Keywords:complexpermittivity;ellipsometry;reflectioncoefficient;millimeterwave [14]   应用现代光电信息技术来获取物质和材料的特 法(椭偏法) 是通过检测样品的反射或透射波相 征信息(如物理和结构参量)是信息科学的重要课 对

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