压痕测试法的新发展.pdfVIP

第 17 卷第 3 期 中 国 计 量 学 院 学 报 Vol . 17 No . 3 2006 年 9 月 J ournal of China J iliang U niver sit y Sep . 2006 　　【文章编号】(2006) 030 17305 压痕测试法的新发展 K. 赫尔曼 (德国联邦物理技术研究院 ,德国 布伦瑞克市) 【摘 　要】　介绍了压痕测试法的必威体育精装版发展 ,指出了确定超薄薄膜 t 10 nm 及很硬的薄膜 t 100 nm 的硬度 及模量是对计量学中纳米范围的挑战. 以压痕测试法替代显微维氏实验可显著地降低测量不确定度及实现 自动化. 压痕测试法在纳米范围及显微范围内可为微电子学 、微电机械系统 、技术光学等领域采用. 【关键词】　压痕 ;压痕测试法 ;不确定度 ;计量学 【中图分类号】　TM93 1 　　　　　【文献标识码】　A Ne w developments of the instrumented indentation test K. Herr mann ( Phy sikali schTechni sche Bundesan st alt Braun scheig , Ger many) Abstract : An advance of t he in st rument ed indent ation t est ( IIT) in recent year s ha s been int ro duced in t hi s work . It indicat es a met rological challenge in t he nano rangedetermination of hardness and modulus on ultrathin layer s t 10 nm and of very har d layer s t 100 nm . Sub stit ution of micro Vicker s t est by IIT enables signifi cant reduction of mea surement uncert aint y and automatization . IIT in nano and micro ranges p rovides manifold application s for microelect ronics , M EM S , t echnical op tics , etc . Key words : indent ation ; t he in st rument ed indent ation t est ( IIT) ; uncert aint y ; met rology 　　随着纳米技术应用和新材料高潮的到来 ,急 1 　压痕测试法的原理 需一些质量保证的检测新方法. 为了评价纳米结 构的强度 、可靠性和寿命 , 除了尺寸测量方法外 , 在经典硬度测量方法 中 , 依据 Rockwell , 力学性质的检测也是必要的. 在许多弹性和可塑 Vicker s 和 Brinell 通过相关压痕测定获得相应的 ( 力学性质方面 , 硬度 的测量和杨 氏 Young ’s 硬度量 ,即除去试力后的压头.