含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展I含氟单体及聚酰亚胺的合成.pdf

下载文档 降价啦

2
0
约1.23万字
约 14页
2017-07-14 发布于浙江
举报
版权申诉
保障服务

含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展I含氟单体及聚酰亚胺的合成.pdf

1、本文档共14页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展I含氟单体及聚酰亚胺的合成

3 ∀ 1 ∀ 综述 1 1 2 2 2 1 1* 刘金刚 , 何民辉, 王丽芳 , 杨海霞 , 李彦峰 , 范琳 , 杨士勇 ( 1中国科学院化学研究所, 工程塑料国家重点实验室, 分子科学中心, 北京 100080; 2兰州大学化学化工学院, 兰州 730000) : ( PI) 305 , , : ; ; 1908 Bogert Rebshaw 4 ( PI) [ 1] 20 50 , PI [2] 1955 D Pont PI 20 60 , D Pont PI , 1961 R R (Kapton ) , 1964 ( Vespel ) , PI [ 3,4] , PI , 2000 , 20 , D PontGeneral Electric( GE) Amoco , BASFCibaGeigy , 1995 PI 14422t, 9117t, 2775t, 2530t 2000 , PI 20000 , 1995 63% [ 5] [ 6] PI , , : ( 1) - 200 ! ~ 260 ! PI , , ; (2) PI ; : ; ( SKLEP0061) ; : ( 1973- ) , , 1999 , 2002 * ; Tel: Fax: Email: p blic305@ infoc3. icas. ac. cn ∀ 2 ∀ 2003 6 (3) PI , , , ; , ; (4) PI PI , , ( 1) PI , , , , , , , # ∃, ; (2) PI 300~ 350 ! , , (TFTLCD) , , 180 ! , TN LCDSTNLCD PI TFTLCD ; ( 3) PI , , , , ( ) , 500nm , 440nm 100% , ; (4) , , , , PI 1998 SE MATECH(Semicond ctor Man fact ring and Technology, , ) , 2002 , 20 [7] ~ 25 , PI 30~ 35, ; ( 5) PI 35% ( ) PI , PI , ( 1) PI PI , , , # cardo∃, , PI ; ( 2) PI PI PI , ( ) PI , , PI , PI , PI , [ 8,9] PI PI 3 ∀ 3 ∀ , PI , , PI PI , , 2, 2( 3, 4) ( 6FDA) [ 10] PI , , , PI , 6F