基于多孔硅的表面等离子共振传感特性 - 发光学报.pdfVIP

下载本文档

1
0
约3.45万字
约 7页
2017-09-02 发布于天津
举报
版权申诉

基于多孔硅的表面等离子共振传感特性 - 发光学报.pdf

1、本文档共7页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

基于多孔硅的表面等离子共振传感特性 - 发光学报

第３７卷　第９期发　光　学　报Ｖｏｌ３７Ｎｏ９２０１６年９月ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥＳｅｐｔ. ꎬ２０１６文章编号:１０００￣７０３２(２０１６)０９￣１１５２￣０７基于多孔硅的表面等离子共振传感特性 ∗ 王志斌 ꎬ韩欢欢ꎬ柴君夫ꎬ任　英 (燕山大学电气工程学院ꎬ河北秦皇岛　０６６００４) 摘要:提出了一种基于多孔硅的表面等离子共振传感模型:棱镜￣金属膜￣多孔硅薄膜￣待测介质ꎮ 在该结构中ꎬ多孔硅的折射率会随着样品浓度的变化而变化ꎮ 利用有限元分析方法ꎬ数值模拟得到该结构的共振光谱ꎬ对模型进行了分析和参数优化ꎮ 以乙二醇溶液为待测样本ꎬ对提出的传感结构的传感性能进行分析ꎬ得到该传感器对乙二醇的传感灵敏度约为２６７.８５(°)/ ＲＩＵꎬ约为Ｋｒｅｔｓｃｈｍａｎｎ棱镜结构灵敏度的２.１３倍ꎮ 关　键　词:表面等离子共振ꎻ光学传感ꎻ共振光谱ꎻ灵敏度中图分类号:Ｏ４３３.４　　　文献标识码:Ａ　　　ＤＯＩ:１０.３７８８/ ｆｇｘ１１５２ＰｒｉｓｍＳｕｒｆａｃｅＰｌａｓｍｏｎｓＲｅｓｏｎａｎｃｅＳｅｎｓｏｒＢａｓｅｄｏｎＴｈｅＰｏｒｏｕｓＳｉｌｉｃｏｎ ∗ ＷＡＮＧＺｈｉ￣ｂｉｎ ꎬＨＡＮＨｕａｎ￣ｈｕａｎꎬＣＨＡＩＪｕｎ￣ｆｕꎬＲＥＮＹｉｎｇ (ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｉａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＹａｎｓｈａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＱｉｎｈｕａｎｇｄａｏ０６６００４ꎬＣｈｉｎａ) ∗ＣｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇＡｕｔｈｏｒꎬＥ￣ｍａｉｌ:ｗｚｂ＿ｙｓｕ＠ｙｓｕ.ｅｄｕ.ｃｎＡｂｓｔｒａｃｔ:Ａｐｒｉｓｍｓｕｒｆａｃｅｐｌａｓｍｏｎｒｅｓｏｎａｎｃｅｉｎｃｅｎｔｉｖｅｍｏｄｅｌｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｉｓｐｒｏ￣ｐｏｓｅｄ:ｐｒｉｓｍｂａｓｅ￣ｍｅｔａｌ￣ｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｌａｙｅｒ￣ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｍｅｄｉａ. Ｔｈｅｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｏｆｔｈｅｐｏｒ￣ｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｗｉｌｌｃｈａｎｇｅｗｉｔｈｔｈｅｓａｍｐｌｅａｂｓｏｒｂｅｄｏｎｔｈｅｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｗｈｉｃｈｃａｕｓｅｓｔｈｅｏｆｆｓｅｔｏｆｓｕｒ￣ｆａｃｅｐｌａｓｍｏｎｒｅｓｏｎａｎｃｅｓｐｅｃｔｒｕｍ. Ｍｅｔａｌｆｉｌｍａｎｄｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｌａｙｅｒｃｏｍｐｏｓｅｔｈｅｒｅｓｏｎａｎｃｅｆｉｌｍ. Ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｔｈｉｎｆｉｌｍｏｐｔｉｃｓａｎｄｗａｖｅｇｕｉｄｅꎬｔｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｒｅｓｏｎａｎｃｅｆｉｌｍｏｎｓｕｒｆａｃｅｐｌａｓｍｏｎｓｒｅｓｏｎａｎｃｅｓｐｅｃｔｒｕｍｉｓａｎａｌｙｚｅｄ. Ｗｉｔｈｔｈｅｍｅｔｈｏｄｏｆｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔａｎａｌｙｓｉｓꎬｔｈｅｒｅｓｏｎａｎｃｅｓｐｅｃｔｒｕｍｏｆｔｈｅｄｅｓｉｇｎｅｄｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓｏｂｔａｉｎｅｄｂｙｎｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ. Ｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｃｏｍｐａｒｉｓｏｎｔｏｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓꎬ ａｎａｌｙｓｉｓａｎｄｐａｒａｍｅｔｅｒｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｄｅｓｉｇｎｅｄｍｏｄｅｌａｒｅｃｏｎｄｕｃｔｅｄ. Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｏｆａｎａｌｙｓｉｓｓｔａｔｅｔｈｅｓｅｎｓｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｉｎｃｅｎｔｉｖｅｍｏｄｅｌｂａｓｅｄｏｎｐｏｒｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎ