光路可调的红外透射方法检测键合质量 - 激光与红外.pdf

第 卷 第 期 激 光 与 红 外 年 月 光电技术与系统 文章编号 光路可调的红外透射方法检测键合质量 何国荣 王瑞春 徐楚平 郑婉华 陈良惠 深圳信息职业技术学院电子通信技术系广东 深圳 中科院半导体研究所纳米光电子实验室北京 摘 要 基于红外透射原理 采用调节光路的冷光源方法搭建了晶片键合界面的质量检测系 统 利用该系统可以很好的实现 材料的键合界面检测和刀片分离时的在线监测 同 时本文以 基分布布拉格反射镜 和 基有源区键合为例 结合红外透视图像和 薄膜转移照片分析对键合表面处理方法进行了优化选择 试验表明该检测系统数据可靠使 用方便 为晶片键合条件及参数优化提供了实用平台 关键词键合红外透射布拉格反射镜 中图分类号 文献标识码 引言 态影响极大很难保证稳定性及均匀性 因而如何 所谓键合技术就是将两块同质或异质的半导体 进行键合质量的无损宏观判定以筛选质量良好的 晶片用物理或化学的方法使之相互成键贴合 由于 键合片进行后工艺制备对于降低实验成本 节约实 键合不需要任何黏贴剂晶片的电阻率和导电类型 验周期极为重要 同时键合质量的判定对于键合条 可以自由选择而且不受材料晶格与晶向限制键合 件的优化分析也将具有重要意义 结构可以承受减薄抛光化学腐蚀和高温处理等各 晶片键合时表面损伤吸附的微粒和黏物或表 种传统工艺因而该工艺在新材料新结构的研究制 光电器件制备 和光电集成方面 得到了 基金项目国家自然科学基金项目 国家高技术 备 广泛的应用 研究发展计划 深圳信息学院青年自然科学基 金项