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一种可吸收垂直入射光的管状量子阱红外探测器!.pdf
第36卷第2期 红外与毫米波学报 V01．36．No．2
2017年4月 J．InfraredMillim．Waves April，2017
文章编号：1001—9014(2叭7)02—0191—06
一种可吸收垂直入射光的管状量子阱红外探测器
王晗1…， 李世龙1， 甄红楼1， 李梦瑶1”，聂晓飞1”，黄高山3，梅永丰n，陆卫h
(1．中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海200083；
2．中国科学院大学，北京100049；
3．复旦大学材料科学系，上海200433)
摘要：基于传统的光刻和化学湿法腐蚀工艺，通过卷曲技术，提出一种三维管状量子阱红外探测器．该管状器件相
比于未卷曲的平面器件，在垂直入射光照下，展现了优良的暗电流、黑体响应和光电流响应率特性曲线．当工作温
度60K、偏置电压O．45V时，管状器件峰值响应率为20．6mA／W，峰值波长3．62¨m，最大量子效率2．3％．从几何
光学的角度分析了管状器件的垂直光吸收原理，进而揭示了一种特殊的光耦合方式．测试了不同角度入射光照射
下的光电流响应率谱．由于微管的近似圆形对称性，器件具有很宽的视角，有助于红外探测系统的设计．
关键词：卷曲微管；红外探测器；量子阱；光耦合
中图分类号：TN362文献标识码：A
Atubular inf．rared
quant啪weUphotodetector
under coupling
verticaUy-incidentlight
WANG LI ZHEN LI NIE
Hanl”， Shi-Lon91， Hong-Loul，Meng—Ya01一，Xiao—Feil”，
HuANG MEI Luwei”5
Gao．Shan3， Yong．Fengj’，
ofInfrared InstituteofTechnical
(1．National工小omtoryPhvsics，Shanghai Physics，
Chinese of
AcademySciences，Shan小ai200083，China；
2． ofChinese of
Universitv AcademySciences，Beiiing1()()049，China；
3． ofMaterials
Department Science，FudanUniversitv，Shanghai200433，China)
well
three—dimensionaltubular in行ared demons仃ated
Abstract：A quantIlm photodetector(QwIP)was
of and
via isonmebasis wetcheIIlical
rolled—uptechnology，which conVentionallitho
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