化学腐蚀硅表面结构反射率影响因素的研究!.pdfVIP

下载本文档

39
0
约1.7万字
约 4页
2017-07-16 发布于湖北
举报
版权申诉

化学腐蚀硅表面结构反射率影响因素的研究!.pdf

1、本文档共4页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

化学腐蚀硅表面结构反射率影响因素的研究!.pdf

第４０卷第２期电子器件Ｖｏｌ４０　Ｎｏ２２０１７年４月ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓＡｐｒ. ２０１７ＴｈｅＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＩｎｆｌｕｅｎｃｅＦａｃｔｏｒｓｏｆＳｉｌｉｃｏｎＳｕｒｆａｃｅＲｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙ∗ ＣＨＥＮＣｈｅｎｇꎬＨＯＮＧＷｅｉ∗ (ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃａｎｄＯｐｔｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙꎬＮａｎｊｉｎｇ２１００９４ꎬＣｈｉｎａ) Ａｂｓｔｒａｃｔ:ＷｅｓｔｕｄｉｅｄｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆｍｏｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｃｏｒｒｏｓｉｏｎａｎｄｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙꎬｗｈｉｃｈｍｅａｓｕｒｅｄｂｙＵＶ￣ｖｉｓｉｂｌｅｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ.Ｔｈｅｄｅｎｓｉｔｙｏｆａｌｋａｌｉｎｅꎬｔｈｅｃｏｒｒｏｓｉｏｎｔｉｍｅꎬｔｈｅｄｉｆｆｅｒｅｎｔｔｙｐｅｓｏｆａｄｄｉｔｉｖｅｓꎬａｎｄｔｈｅａｄｄｉｔｉｖｅｃｏｎｃｅｎ￣ｔｒａｔｉｏｎｈａｖｅｂｅｅｎｃｏｎｓｉｄｅｒｅｄ. Ａｓａｒｅｓｕｌｔꎬｔｏｏｂｔａｉｎｌｏｗｅｒｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙꎬｔｈｅｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｏｆａｓｏｌｕｔｉｏｎｏｆａｌｋａｌｉａｎｄｃｏｒｒｏｓｉｏｎｔｉｍｅｐｌａｙａｄｅｃｉｓｉｖｅｒｏｌｅ.Ｔｈｅｌｏｗａｖｅｒａｇｅｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙꎬｇｏｏｄｒｅｐｅａｔａｂｉｌｉｔｙａｎｄｉｄｅａｌｒｅｄｕｃｉｎｇｃｏｒｒｏｓｉｏｎｆｌｕｉｄｃａｎｂｅｏｂｔａｉｎｅｄ. Ｉｎｔｈｅｃｏｎｄｉｔｉｏｎｔｈａｔａｔ８０ ℃ꎬｔｈｅｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｏｆＮａＯＨｉｓ１５ｇ/ ＬꎬＡｎｈｙｄｒｏｕｓｅｔｈａｎｏｌｖｏｌｕｍｅｆｒａｃｔｉｏｎｏｆ１０％ａｎｄｔｈｅｃｏｒｒｏｓｉｏｎｔｉｍｅｉｓ３０ｍｉｎꎬｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙｏｆ１１.１５％ｏｎｓｉｌｉｃｏｎｃａｎｂｅｏｂｔａｉｎｅｄ . Ｋｅｙｗｏｒｄｓ:ａｌｋａｌｉｎｅｃｏｒｒｏｓｉｏｎꎻｒｅｆｌｅｃｔｉｖｉｔｙꎻａｎｔｉ￣ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅꎻｅｔｃｈｉｎｇｓｏｌｕｔｉｏｎ－ＥＥＡＣＣ:２５５０Ｇ　　　　ｄｏｉ:１０.３９６９/ｊ.ｉｓｓｎ.１００５９４９０.２０１７.０２.００２化学腐蚀硅表面结构反射率影响因素的研究∗ 陈　程ꎬ洪　玮∗ (南京理工大学电子工程与光电技术学院微纳研究所ꎬ南京２１００９４) 摘　要:单晶硅片在碱溶液中的腐蚀会引起表面结构的变化ꎬ利用紫外可见分光光度计测量硅片表面反射率ꎬ发现碱溶液的浓度、腐蚀时间、添加剂的选择(无水乙醇或异丙醇)以及添加剂的浓度均对硅片表面反射率有影响ꎮ 比较几个因素发现碱溶液的浓度和腐蚀时间对硅片表面反射率影响最大ꎮ 当腐蚀温度为８０ ℃ꎬＮａＯＨ固体浓度为１５ｇ/ Ｌꎬ添加剂无水乙醇体积分数１０％时ꎬ腐蚀３０ｍｉｎ得到硅片反射率最低ꎬ达到１１.１５％ꎮ 关键词:碱腐蚀ꎻ反射率ꎻ减反结构ꎻ腐蚀液－－－中图分类号:ＴＭ９１４　　　　文献标识码:Ａ　　　　文章编号:１００５９４９０(２０１７)０２０２７２０４　　随着光电探测器和太阳能电池的广泛应用ꎬ硅片备ꎮ 如ＶａｚｓｏｎｙｉＥ等人对ＮａＯＨ溶液中以异丙醇 [１] [２] (ＩＰＡ)作为添加剂进行了系统研究ꎬ