化学机械抛光产生的碲镉汞材料亚表面损伤层的研究 - 红外与激光工程.pdf

第 45 卷 第 12 期 红 外 与激 光 工程 2016 年 12 月 Vol.45 No.12 Infrared and Laser Engineering Dec. 2016 化 学机械 抛光产 生 的碲镉汞材料 亚表 面损伤层 的研 究 乔 辉 1,2 ，陈心恬 1,3 ，赵 水平 1 ，兰添翼 1 ，王妮 丽 1 ，朱龙 源 1 ，李 向 阳 1 ( 1. 中国科 学院上 海技 术物理研 究所 中国科 学院红外成像材料 与器件 重点 实验 室 ，上 海 200083 ； 2 . 中国科 学院大学 ，北京 100049 ； 3 . 山 东大学 信 息科 学与工程 学院 ，山 东 济 南 250100) 摘 要 ： 针对化 学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表 面损伤层进行 了研 究。 利 用椭 圆偏振光谱 方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表 面进行 了光 学表征 ， 认 为化 学机械抛光工艺造成的亚表 面损伤层 的深度 大概为抛光工艺中所使 用研磨颗粒直径的 15~20 倍 。 通过 少子寿命表征和光导器件性能的对 比 测试 ，认为将该亚表 面损伤层 完全去除后 ，材料 的少子寿命和器件 的光 电性能会得到明显的提 高。 关 键 词 ： 化 学机械抛光 ； 亚表 面损伤 ； 椭 圆偏振 ； 少子寿命 ； 碲镉 汞 中 图分 类 号 ： TN21 文 献 标 志码 ： A DOI ： 10 .3788/IRLA201645.1204001 Study of the sub鄄surface damage of HgCdTe induced by chemical鄄mechanical polishing method 1,2 1,3 1 1 1 1 1 Qiao Hui , Chen Xintian , Zhao Shuiping , Lan Tianyi , Wang Nili , Zhu Longyuan , Li Xiangyang ( 1. Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors, Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083 , China ; 2 . University of Chinese Academy of Sciences, Beij ing 100049 , China ; 3 . School of Information Science and Engineering , Shandong University , Ji ′nan 250100 , China) Abstract : Study of the sub鄄surface damage induced by chemical鄄mechanical polishing method has been carried out for HgCdTe