建立分子动力学结合有限元素法之耦合模式研究奈米薄膜拉伸、压缩和 .pdf

行 立力奈 拉 精 類 行 年年 行 林 參理 理 利 年 年 ˇ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 建立分子動力學結合有限元素法之耦合模式研究奈米薄膜拉伸、壓縮 和化學機械研磨製程之變形機制 計畫類別：■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號：NSC 96-2221-E-237 -003 - 執行期間：96年08月01日至97年07月31日 林有鎰 計畫主持人： 共同主持人： 計畫參與人員：邱國財 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：■精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、列 管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 執行單位：德霖技術學院機械工程系 中 華 民 國 97 年 7 月 30 日 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 建立分子動力學結合有限元素法之耦合模式研究奈米薄膜拉伸、壓縮和化學機械研磨製程 之變形機制 Establishing Coupled Models Combining Molecular Dynamics Simulation with Finite Element Method to Investigate the Deformation Mechanism of Nanoscale Thin Film Subjected to Tension and Compression and Chemical Mechanical Polishing Process 計畫編號： NSC 96-2221-E-237 -003 - 執行期間： 年 月 日至 年 月 日 96 8 1 97 7 31 計畫主持人：林有鎰 德霖技術學院機械工程系教授 計畫參與人員：邱國財 德霖技術學院機械工程系講師 一、中文摘要(關鍵字：分子動力學、有限 而應力分佈則會隨截斷半徑的增加而遞 元素法、銅奈米薄膜、比例拉伸、比例壓縮、 減。(2)在比例壓縮模擬方面：a.銅奈米薄膜 應力、應變) 結構在截斷半徑為2.5 倍的平衡距離的條件 本計劃原申請二年：第一年為(1)建立銅 下，由於銅原子間的距離是等比例的均勻縮 短，因此自由移動區的壓應變分佈和壓應力 奈米薄膜結構承受比例拉伸作用之分子動 力學-有限元素法之耦合模式，(2)建立銅奈 分佈是由固定端往壓縮端遞增。b.當截斷半 米薄膜結構承受比例壓縮作用之分子動力 徑數值愈大時，壓應力數值愈小，因此壓應 學-有限元素法之耦合模式；第二年為建立原 力-壓應變曲線斜率也相對愈小，導致壓縮彈 子級化學機械研