电子部品の试料加工と观察 - アイテス.pdf

電子部品の試料加工と観察、分析・解析 ～真の姿を求めて～ セミナー A-14-0716 電子部品の試料加工と観察、分析・解析 ～真の姿を求めて～ セミナー 第３回 品質技術 兼原 龍二 前回の第 2 回目では、代表的な断面作製手法である機械研磨やＦＩＢ、イオ ンポリッシャー、ミクロトームについて、その特徴と概略を簡単に示しました。 また、最もポピュラーな機械研磨については、少し詳しくお話ししました。今 回も機械研磨について、その断面作製の信頼度を左右するデメリット （陥りや すい落とし穴）について具体例を交えながらお話しさせていただきます。また、 観察目的と断面作製の品質との関係についても解説させていただきます。 3.3 機械研磨のデメリット(第2 回目からのつづき) 第 2 回目でお話ししましたように、機械研磨は 「研磨材料で擦り取る」とい う方法で断面を作製するため、図 6.に示すような断面作製の信頼度に影響を及 ぼすデメリットが生じます。断面作製の信頼度が低下すれば、必然的にその後 の観察や分析・解析の信頼度も低下してしまいます。 断面作製の後に行う観察や分析の信頼度を維持するためにも、断面作製の信 頼度には十分注意しなければなりません。このようにデメリットを回避するこ とは極めて重要です。回避出来ずにデメリットが生じた場合はこれを除去しな ければなりません。機械研磨より適した方法もなく、完全に除去も出来ない場 合は、可能な限りデメリットが軽微になるようにする必要があります。これら を実現するためには、数多くの研磨材料の中から最も適した組み合わせを選び 出さなければなりません。また、研磨材料だけではなく研磨の条件設定も断面 作製の信頼度を左右する大きな要因となります。第2 回目でもお話ししました が、これらは人的なスキルへの依存が非常に大きく、『真実の姿』に近づけるた めには、相当量の熟練が必要となります。 また、どうしてもデメリットの影響を排除しきれないような場合には、その 試料の現在の状況や状態を正しく把握し、研磨後の観察や分析結果の解釈など を誤らないように細心の注意が必要となります。 〒520-2392 滋賀県野洲市市三宅800 番地 株式会社アイテス 品質技術 TEL ：077-599-5020、FAX ：077-587-5901 1／9 電子部品の試料加工と観察、分析・解析 ～真の姿を求めて～ セミナー A-14-0716 機械研磨のデメリット 各模式図とも、 下側が研磨面 研磨面 ａ）加工変質層 硬 軟 ｂ）段差・ダレ ｃ）キズ・欠け ｄ）割れ ｅ）剥がれ ｆ）埋まり込み ｇ）ささり 空洞 ｈ）つまり ｉ）伸び・被覆 ｊ）付着 これらを熟知し回避することが重要 図6.機械研磨のデメリット 各デメリットの詳細を以下にまとめます。 a) 加工変質層 研磨材料で機械的に擦り取るという方法で断面を作製するため、研磨材料 に接した面は深さ方向に加工による微小な変質層(金属組織が崩れ