日立离子研磨仪im4000 介绍.pdf

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 日立离子研磨仪IM4000 介绍 离子研磨仪作为扫描电镜样品前处理工具，可以将样品进行无应力加工并得到一个 平整表面。之前日立有两台不同的仪器，分别是用于平面研磨的IM3000 和用于截面研 磨的 E-3500。现在，日立将两台仪器进行重新设计整合，推出了新一代兼容平面和截 面研磨两种加工方式的产品IM4000。这样，用户只买一台仪器 ，通过更换样品座就可 以实现两种功能 ，节省了仪器的采购资金。 图1. 日立平面研磨仪IM3000 和截面研磨仪E-3500 图2. 日立离子研磨仪IM4000 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 用SEM 进行表面观察、表面分析时，需要面积较大且表面均一的观察面，IM4000 的平面研磨方式可以满足此要求。平面研磨加工方式是通过日立独有的Flat Milling® 法，获得均一的较大面积的加工面，可用于去除样品的表层，或者用于机械研磨的后续 加工工序。如果离子束中心轴和样品台旋转中心轴是一致的，则加工出的轮廓反映了离 子束电流密度分布，即中心部分较深的高斯分布形状。平面研磨法是利用离子束中心轴 和样品台旋转中心轴之间有一定的偏心量，从而获得均一的大范围加工面。 截面研磨用离子束轰击样品，加工出无应力损伤的截面，为SEM 观察样品的内部 多层结构、层厚测量、结晶状态、异物解析等提供有效的样品前处理方法。样品和离子 枪之间放置了遮挡板（Mask ），样品的上端略突出遮挡板，离子束从遮挡板上方照射到 样品上（如左图），则沿着遮挡板的边缘，离子束加工出平坦的截面。 样品台旋转中心轴 均一加工范围 （Φ5mm ） 离子枪 遮挡板 离子枪 偏心量 离子束 照射角度（θ） 离子束中心轴 样品 样品台 图3. 平面研磨和截面研磨的示意图 由于离子枪性能的提高，IM4000 的截面研磨的加工速度也比E-3500 要快。E-3500 每小时只能加工100 微米，IM4000 可以加工300 微米（加工Si 片，突出遮挡板边缘 100μm ）。原来需要加工5 小时的样品现在只需要不到2 小时就加工完，加工效率大大 提高。 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 图4. E-3500 和IM4000 加工速度对比 IM4000 可以通过样品仓上部的玻璃窗直接观察加工时的状况。并且，可以加装实 时观察用的体式显微镜（选配），实现15~100 倍的实时观测。此外，三目型体式显微 镜可以加装CCD 相机，在显示器上进行观察。