微电子机械mems陀螺仪的原理和测试方法研究!.pdfVIP

工艺与制造lPr。cessandFabricatl。n EM 微电子机械M S陀螺仪的 原理和测试方法研究 钱鸣镝 (上海先进半导体制造股份有限公司，上海200233) 摘要：作者从原理出发，结合实际开发的产品，由浅入深，提供了微电容检测和Q值测试方案， 以及如何实现自动化测试。测试不仅能够检查裸芯片的性能是否符合要求，提前筛除不合格的产 品，还能监视工艺的变化而可能导致的参数变化。 关键词：微电子机械系统；MEMS；陀螺仪；微电容检测；Q值测试 中图分类号：TN407文献标识码：A文章编号：1 7)05—0072—06 674—2583(201 7 DOI：1O．1 674-2583．2017．05．01 93394．issn．1 中文引用格式：钱鸣镝．微电子机械MEMS陀螺仪的原理和测试方法研究[J】．集成电路应用，2017， 34(5)：72-77． andTestofMEMS Principle Gyroscope QIAN Mingdi Semiconductor of (Advanced ManufacturingCorporationShanghai，Shanghai200233，China．) Abstract：Fromthe withtheactuaI Ofour principle，combineddevelopmentproducts，the paper amicro detectionandvaluetest the to provides capacitance Q program．andwayachieve automated testcannot checkthe ofthebare whichiSlnline testing．The only performancechip withthe inadditiontosubstandard also monitor requirements，earlyscreening products，but inthe andin processparameters． changes word：microelectromechanical Key capacitancedetection， system，MEMS，gyroscope，micro Qvaluetest MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域同，所以封装成本很高，占整个成本的50％～90％。所 和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行以，如果在封装之前能先进行测试，初步筛选成品剔 器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、 除废品，就能极大的减少成本[9—1¨。 电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环 境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都 1微机械陀螺概述 有着十分广阔的应用前景Ll√J。 1．1微电子机械系统 微电子机械陀螺作为一种用来测量角速度和角