角度调制型牦犘犚传感器复合金属膜结构的设计 - 华侨大学学报（自然 .pdf

第 卷 第 期 华 侨 大 学 学 报 （自然 科 学 版 ） ３４ １ Ｖｏｌ．３４ Ｎｏ．１ 　 　 　 　 年 月 （ ） ２０１３ １ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＨｕａｉａｏＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ Ｊａｎ．２０１３ 　 　 ｑ ｙ 文章编号： （ ） １０００５０１３２０１３０１００４６０３ 　 　 角度调制型犛犘犚传感器复合金属膜结构的设计 １ ２ ２ ２ 陈惠滨 ，魏文才 ，林少芬 ，江小霞 （ 集美大学 信息工程学院，福建 厦门 ； １． ３６１０２１ ２．集美大学 轮机工程学院，福建 厦门 ３６１０２１） 摘要： 采用 数值模拟，分析 ， 两种材料对于角度调制型表面等离子共振（ ）传感器性能 ＭＡＴＬＡＢ ＡｕＡ ＳＰＲ 　 ｇ 的影响；同时，根据 和 的各自特性，提出一种 ／ 复合膜结构的设计，并对该复合膜结构的 传 Ａｕ Ａ Ａ Ａｕ ＳＰＲ ｇ ｇ 感器性能进行数值分析 研究结果表明：角度调制型 传感器的最低反射率受金属膜厚度的影响较大，在 ． ＳＰＲ ， 膜厚度分别为 ， 时，其共振强度最强，最小反射率值达到最小值；选择 ／ 复合膜总厚度 ＡｕＡ ５２３８ｎｍ Ａ Ａｕ ｇ ｇ 为 （其中 膜厚度为 ），可以大大改善传感器的性能，且由于 膜处于复合膜的外层，可以保持 ５０ｎｍ Ａｇ ２０ｎｍ Ａｕ 传感器较好的稳定性． 关键词： 表面等离子共振传感器； ； ；复合金属膜；角度调制型；数值分析 Ａｕ Ａ 　 ｇ 中图分类号： ＴＰ２１２ 文献标志码： Ａ 　 　 表面等离子共振（ ， ）传感技术是从 世纪 年代发展起来的一种 ｓｕｒｆａｃｅ ｌａｓｍｏｎｒｅｓｏｎａｎｃｅＳＰＲ ２０ ９０ ｐ 新型生化检测技术 它具有检测灵敏度高、无需标记、无需分离纯化、抗电磁干扰性能好等特点，可用于