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第40卷第6期 微电子学 VoL40。No．6
2010年12月 Microelectronics Dec．2010
IC制造作业调度及资源配置机制研究
胡尊刚，严,1／,-，周卫，刘志弘
(清华大学信息科学与技术国家重点实验室(筹)，北京100084；清华大学微电子学研究所，北京100084)
摘要： 考察和分析了当前流行的IC作业调度的算法模式。在此基础上，将制造系统中的作业
调度回归到本原意义上，即制造资源优化配置必须保证制造步骤得以实施，得出既处理待加工硅
片，也处理加工设备的双资源调度路线。结合判决式实例(Benchmark)，给出IC制造领域中静态
地匹配单机k_r-能力和加工片量的设备配置优化算法，以及动态地调度制造资源以维持工厂流水
线式并行生产的作业调度方案，使之在机器运行效率、在制品数量和制造周期压缩、生产批的流程
制造可预定性等方面，均取得最优化的效果。
关键词：IC制造；作业调度；资源配置
中图分类号：TN705 文献标识码：A
on of andResource
Job
StudyPrinciplesScheduling Configuration
inIC
Manufacturing
HU Liren，ZHOUWei，LIU
Zungang，YAN Zhihong
(National Scienceand
LaboratoryforInformation Technology；Instituteof
Microelectronics，TsinghuaUniversity，
100084。P．R．China)
BeOing
forIC werereviewed．AsIC machines
Abstract：Current arefixedto
strategiesjobscheduling mannfacturing
be atdifferentworkstations is
waferstO arescheduled．Inthiswork，it that
workstations，onlyprocessed suggested
be
machines，asanotherIC scheduledtOO．Atwo-resource-schedulemethodwas
processingresource，may presen-
ted，andanICbenchmarkflowwasusedasan which was and
process example，inequipmentcopabilityoptimized
was aswafer has
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