ICP 光源系统的移动台设计 - 自动化仪表.PDF

ICP光源系统的移动台设计摇 陈摇 琪,等 ICP光光源系统的移动台设计 Designof the Movement Stationfor ICP Light Source System 陈摇 琪摇 连磊磊摇 高摇 勇摇 耿恒宝 (中国地质大学(武汉)机械与电子信息学院,湖北 武汉摇 430074) 摘摇 要: 为改善ICP光源接口的采样能力,引入了一种三维移动装置。 光源安装台固定于三维移动装置顶部,构成ICP光源系统移动 台。 针对移动台的移动精度和行程等需求,对各步进系统的支承、导向和传动结构进行了研究。 考虑到设计中可能对光源产生的干 扰因素,采用接触式限位开关实现行程保护,并对光源安装台的结构进行了设计。 试验结果表明,ICP光源系统移动台通过软件控制 能够准确移动至最佳工作位置,有效改善了采样锥对等离子体的采样能力。 关键词: 电感耦合等离子体(ICP)摇 三维移动摇 滚动摩擦摇 螺旋传动摇 限位开关 中图分类号: TH843摇 摇 摇 摇 文献标志码: A Abstract: In order to improve the sampling capability of the ICPlight sourceinterface,the3Dmovement deviceisintroduced. Thelight source mounting base isfixed on the top of the movement device to construct the moving bench of the ICP light source system. In accordance with the movement accuracy and stroke demands,the supporting,guiding andtransmission structuresof each stepping systemareresearched. Considering the interfering factorsin thedesigntolightsource,thestrokeprotectionisrealizedbyadoptingcontacttypelimitswitches,andthestructureofthe mounting base of the light source is designed. The experimental results indicate that the movement bench of ICP light source can be precisely controlledvia software to reach optimumworking position,and effectively improvesthe sampling capability of the sampling cone to plasma. Keywords: Inductively鄄coupled plasma (ICP)摇 3D movement摇 Friction of rolling摇 Screw transmission摇 Limit switch 该ICP光源三维移动台由三维移动台和光源安装台组 0摇 引言 成。 三维移动台的机械系统由三个互相独立的步进系 [2] 电感耦合等离子体鄄质谱仪(inductively coupled 统组成 ,并采用步进电机驱动控制;各步进系统相互 plasma鄄mass spectrometry,ICP鄄MS)采用以电感耦合等 独立,便于实现X、Y、Z三个方向上的精密移动与单向 离子体作为离子源(又称“ICP光源冶),以质谱仪进行 调控。 光源安装台位于设备顶层,用于安装固定光源 检测的无机多元素分析技术。 如何将等离子体有效稳