Nb5N6 microbolometer太赫兹检测器 - 南京大学学报（自然科学）.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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Nb5N6 microbolometer太赫兹检测器 - 南京大学学报（自然科学）

( ) 南京大学学报自然科学第卷第期 , 50 3 Vol.50 No.3 JOURNALOFNANJINGUNIVERSITY 年月 , 2014 5 Ma 2014 y ( ) NATURALSCIENCES : / DOI10.13232 .cnki.nu.2014.03.004 j jj NbN microbolometer太赫兹检测器 5 6 * , , , , , , , 涂学凑毛庆凯徐磊孙振龙康琳金飚兵陈健吴培亨 ( , , , ) 南京大学超导电子学研究所南京大学南京 210093 : , , 摘要随着太赫兹科学技术的快速发展太赫兹检测器件的性能也在不断提高为微弱信号的检测和太赫兹成像奠 , 定了坚实的基础本文针对薄膜材料研制了阵列芯片及其基于这种芯片的太赫兹准 . NbN NbN microbolometer 5 6 5 6 / , ( ) 光型接收机单个的直流电压响应最高达对应的直流噪声等效功率为 . NbN microbolometer 760VW NEP 5 6 -11 / , , 1.3×10 W √Hz.在实际系统中由串联结构的NbN microbolometer构成的准光接收机光学电压响应率高达 5 6 / , ( ) -11 / 、对应的光学噪声等效功率为太赫兹检测器室温工作工 428VW NEP 2.3×10 W √Hz.NbN microbolo