介质阻挡激发冷等离子体的放电特性研究-电子器件.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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介质阻挡激发冷等离子体的放电特性研究-电子器件

第４０卷第３期电子器件Ｖｏｌ４０　Ｎｏ３２０１７年６月ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓＪｕｎｅ２０１７ＳｔｕｄｙｏｎＤｉｓｃｈａｒｇｅＣｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆＣｏｌｄＰｌａｓｍａＧｅｎｅｒａｔｅｄｂｙＤｉｅｌｅｃｔｒｉｃＢａｒｒｉｅｒＤｉｓｃｈａｒｇｅ ∗ ＷＡＮＧＱｉｂｉｎꎬＬＩＪｕｎ ꎬＬＩＵＹｏｎｇ (ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＣｏｎｔｒｏｌＳｃｉｅｎｃｅꎬＮａｎｊｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＮａｎｊｉｎｇ２１１８００ꎬＣｈｉｎａ) Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃｂａｒｒｉｅｒｄｉｓｃｈａｒｇｅ(ＤＢＤ)ｉｓｃｕｒｒｅｎｔｌｙｔｈｅｍｏｓｔｓｔａｂｌｅꎬｓａｆｅａｎｄｌｏｗ￣ｃｏｓｔｍｅｔｈｏｄｔｏｐｒｏｄｕｃｅｃｏｌｄｐｌａｓｍａｕｎｄｅｒａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃｐｒｅｓｓｕｒｅ. ＩｎｏｒｄｅｒｔｏｓｔｕｄｙｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆＤＢＤꎬａｆｔｅｒｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅｅｑｕｉｖａｌｅｎｔｍｏｄｅｌꎬｂｕｉｌｔａｈｉｇｈｆｒｅｑｕｅｎｃｙａｎｄｈｉｇｈｖｏｌｔａｇｅｐｏｗｅｒｓｕｐｐｌｙꎬｕｓｉｎｇｃｏａｘｉａｌｃｙｌｉｎｄｅｒｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅꎬｓｔｕｄｉｅｄｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｔｈｅｏｕｔｐｕｔｃｕｒｒｅｎｔꎬｖｏｌｔａｇｅａｎｄｄｉｓｃｈａｒｇｅｉｎｔｅｎｓｉｔｙａｔｄｉｆｆｅｒｅｎｔｅｌｅｃｔｒｏｄｅｌｅｎｇｔｈａｎｄｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉｎｐｕｔｖｏｌｔａｇｅ. Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔ:ａｔｔｈｅｓａｍｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｌｅｎｇｔｈꎬｔｈｅｇｒｅａｔｅｒｏｆｔｈｅｉｎｐｕｔｖｏｌｔａｇｅꎬｔｈｅｇｒｅａｔｅｒｏｆｔｈｅｏｕｔｐｕｔｃｕｒｒｅｎｔａｎｄｔｈｅｄｉｓｃｈａｒｇｅｉｓｍｏｒｅｉｎｔｅｎｓｅꎻａｔｔｈｅｓａｍｅｉｎｐｕｔｖｏｌｔａｇｅꎬｔｈｅｌｏｎｇｅｒｏｆｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｌｅｎｇｔｈꎬ ｔｈｅｇｒｅａｔｅｒｏｆｔｈｅｏｕｔｐｕｔｃｕｒｒｅｎｔｗｈｉｌｅｔｈｅｉｎｔｅｎｓｉｔｙｏｆｄｉｓｃｈａｒｇｅｉｓａｌｍｏｓｔｃｏｎｓｔａｎｔ.Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓａｃｃｏｒｄｗｉｔｈｔｈｅｅｑｕｉｖａｌｅｎｔｍｏｄｅｌ. Ｋｅｙｗｏｒｄｓ:ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃｂａｒｒｉｅｒｄｉｓｃｈａｒｇｅꎻｄｉｓｃｈａｒｇｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃꎻｈｉｇｈｆｒｅｑｕｅｎｃｙａｎｄｈｉｇｈｖｏｌｔａｇｅｐｏｗｅｒｓｕｐｐｌｙꎻ ｃｏａｘｉａｌｃｙｌｉｎｄｅｒｓ－ＥＥＡＣＣ:２３８０　　　　ｄｏｉ:１０.３９６９/ｊ.ｉｓｓｎ.１００５９４９０.２０１７.０３.００４介质阻挡激发冷等离子体的放电特性研究 ∗ 王其斌ꎬ李　俊 ꎬ刘　勇 (南京工业大学电气工程与控制科学学院ꎬ南京２１１８００) 摘　要:介质阻挡放电是目前常压下最稳定、安全且成本最低的产生冷等离子体的方式ꎮ 为了研究其放电特性ꎬ在分析了其等效模型的基础上ꎬ搭建了一台高频高压电源ꎬ采用同轴圆筒电极结构ꎬ实验研究了在不同电极长度以及不同输入电压情况下的输出电流、电压和放电剧烈程度等特性ꎮ 实验结果表明:电极长度相同时ꎬ输入电压越大ꎬ输出电流越大ꎬ放电越剧烈ꎻ输入电压相同