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单元计数辅助软件“Marrive”
单元计数辅助软件
“Marrive”
ASTRON Inc.
前言
• 在用电子显微镜观察DRAM/SRAM/Flash等容易出现故障的反
复图形部分时,由于没有明显的特征点,很难观测到想观测
的位置。
• 目前都是透过人力来目测计数,在调整视野时容易产生人为
的误失,缺乏可靠性。
• 人力目测计数的缺点
① 需要很高的集中力。
② 容易疲劳。
③ 对于结果的准确性感到不安。
④ 可能需要反复计数多次。
ASTRON Confidential / Proprietary
单元计数辅助软件 “Marrive”
・ Marrive : Manage to Arrive at destination
・ 2010年8月开始销售。
・ 透过图像处理技术自动识别反复的图像形状,可对目测计
数进行支援的软件。
・ 可以不必像目测计数一样需要很高的集中力及反复计数,
使计数可以更放心,可靠性更高。
使用Marrive计数的优势
① 不需要很高的集中力。
② 不容易疲劳。
③ 可靠性高
④ 能更快地找出位置
ASTRON Confidential / Proprietary 3
单元计数方法
指定计数单元
ASTRON Confidential / Proprietary
单元计数方法
向右移动Stage
之后、向下移动Stage
ASTRON Confidential / Proprietary
ASTRON Inc.
单元计数方法
(8,0)
(8,5)
ASTRON Confidential / Proprietary
系统构成
SEM装置 WindowsPC
NTSC(视频)信号线
・单元计数软件
・图像捕捉
・图像处理库
・NTSC信号线
7
ASTRON Confidential / Proprietary
系统构成
Marrive
(单元计数辅助软件)
单元计数工作示意图
ASTRON Confidential / Proprietary
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