可定制脉冲激光溅射沉积系统 - 瀚宇科技.PDF

瀚宇科技 （香港）有限公司 可定制脉冲激光溅射沉积系统 ——Pulsed Laser Deposition 脉冲激光沉积 （Pulsed Laser Deposition）系统，简称 PLD 系统，本系统由准分子激光器 和真空镀膜室两大部分组成；真空镀膜腔 由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工 作气路 、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成 。 一、激光器部分 基于 LightMachinery 最畅销的 IPEX 系列工业级准分子激光器 ，为 PLD 应用优化 了激光 器 ；IPEX 系列准分子激光器在脉冲激光沉积 （PLD）领域展现 了优异的性能、耐用性 、可靠 性和满足研究人员和系统集成商要求的易于集成性能。 1 ．激光器优点  GasMiser-1000 选件与 ICON 技术相配合，可延长气体寿命，降低运行成本  优异的光斑均匀性和脉冲与脉冲间能量稳定性，脉冲宽度短  在所有重复频率下，能量都保持恒定  EasyClean 自动密封功能可保持气体填充和减少维修停机时间  高稳定的光学支架可获得极佳的光束指向精度  可定制光束传输系统，以适合特殊的 PLD 应用需求 2 ．PLD 性能稳定  恒定脉冲能量：将 ICON 和 GasMiser-1000 两种技术结合的 IPEX-740/760 系列准分 子激光器，在单次换气后都具有无与伦比的动态和静态气体寿命。从单次到最大重 复频率，脉冲能量在所有重复频率都恒定。这种方法保证了 PLD 工艺参数不会随激 光器工作时间和重复频率的变化而改变。  恒定脉冲稳定性：采用先进的能量监测方式来调节脉冲能量，可以准确地调节放电 电压和混合气体，所有工作条件下（包括 Burst 模式）都保持恒定的输出能量。脉冲 与脉冲间稳定性优于 1%。 网址：www.hisky - 电话：010传真：010 邮箱：Sales@ 瀚宇科技 （香港）有限公司  恒定指向稳定性：高稳定性的核心光学元件支架，提供优于 200μrad 的指向稳定性， 确保光学维修后不需要重新校准。  恒定光束质量：IPEX-740/760 系列激光器的光束强度分布被设计为边缘陡峭，顶部 平坦，特别是在激光腔工作寿命内变化极小。 3 ．激光器的规格 Wavelength(nm) 193 (ArF) 248 (KrF) 308(XeCl) Stabilised Pulse Energy(mJ) IPEX-740 Series 150 400 250 at all repetition rates IPEX-760 Series 200 600 500 Maximum Pulse Energy(mJ) IPEX-740 Series 230 450 300 at low repetition rates IPEX-760 Series 250 700 600 Stabilised Average Power(W) IPEX-746 15 40 25 IPEX-744 6.0