基于Nd∶YVO 4 晶体四波段腔面膜的研制 - 光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ４３ ５ 　 　 　 Ｖｏｌ．４３Ｎｏ．５ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１４ ５ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｍａ ２０１４ ｙ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０５３１００１ ｇ 基于Ｎｄ∶ＹＶＯ４ 晶体四波段腔面膜的研制 付秀华，韩放，张静，寇洋，潘永刚 （长春理工大学 光电工程学院，长春 １３００２２） 摘 要：黄光激光器作为一种接近人眼敏感区域的激光器在诸多领域都发挥着重要的作用，而谐振腔又 　 是激光器中重要组成部分 本文以 （ ）晶体为基底，利用真空镀膜设备研制出四波段腔 ． Ｎｄ∶ＹＶＯ ｃｃｕｔ ４ 面膜 通过分析膜系设计过程中膜层电场强度和优化膜系，使膜层中驻波场强得到合理分布，从而在理 ． 论上减小膜层损伤的可能性；通过 ＴＦＣａｌｃ软件对测试结果进行工艺反馈分析，经过多次模拟实验，发现 在不同控制波长下，采用相同监控方法监测不同的膜厚比例系数，通过调整工具因子解决了光谱曲线漂 移的问题，制备出膜层牢固、化学性能稳定、满足四个波段光谱输出的黄光激光器腔面膜． 关键词：薄膜光学；腔面膜；膜系设计；黄光激光器；掺钕钒酸钇晶体 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ４８４．８ Ａ １００４４２１３２０１４０５０５３１００１５ 　　　 　　　 犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犉狅狌狉犠犪狏犲犾犲狀狋犺狊犆犪狏犻狋犛狌狉犳犪犮犲犉犻犾犿犅犪狊犲犱狅狀 犵 狔 犖犱∶犢犞犗 犆狉狊狋犪犾 ４ 狔 ， ， ， ， ＦＵＸｉｕｈｕａ ＨＡＮＦａｎ ＺＨＡＮＧＪｉｎ ＫＯＵＹａｎ ＰＡＮＹｏｎａｎ ｇ ｇ ｇ ｇｇ ｇ （ ， ， 犛犮犺狅狅犾狅 犗 狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犆犺犪狀犮犺狌狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋狅 犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 犳 狆 犵 犵 犵 狔 犳 犵狔 ， ） 犆犺犪狀犮犺狌狀１３００２２ 犆犺犻狀犪 犵 ： ， ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｈｅ ｅｌｌｏｗｌａｓｅｒｗｈｉｃｈｉｓｃｌｏｓｅｔｏｔｈｅｓ