G1电浆辅助化学气相沈积系统之制程腔体加热器 - 国家实验研究院.DOC

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 『G1電漿輔助化學氣相沈積系統之 製程腔體加熱器系統購與計修改』 招標規範書 目錄 頁次 一、說明 3 二、設備明細 3 三、軟硬體規格 3 四、製程規格與驗收項目 4 五、審查文件 5 六、測試與驗收 5 七、保固 5 八、履約期限 6 九、規範書釋疑聯絡人 6 說明 本規範適用於財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室，電漿輔助化學氣相沈積系統為達到精準控制奈米級薄膜沈積厚度與均勻性，達到大面積(32x40cm2)與高均勻性奈米級薄膜沈積 (15 nm)功能，故本購案為購製程腔體加熱器並同進行加熱之模組控，以符合低缺陷奈米級薄膜沈積，其他詳如下述章節規定；本規範如有任何疑慮依業主解釋為準。 設備明細 G1電漿輔助化學氣相沈積系統，腔體加熱器均勻性不佳，需製作新品，同時進行加熱器系統之設計程控修改，以改善加熱器變形問題、安裝的真空密封問題、玻璃基板傳輸時對位問題及Heater電源導線更換等。 機械手臂傳送系統適用基板規格： 尺寸：G1尺寸(400*320mm2)之玻璃基板及其尺寸以下之玻璃基板與晶圓等材料。 厚度：1.5~4mm。 軟硬體規格 投標廠商更改之部品須符合或優於以下所訂規格： 新品加熱器乙，相關加熱器規格如下： 材質：需求為不銹鋼者表面電解拋光，鋁材質者表面陽極處理時需合設備之相關材料性質。 購及新計加器系統，需完全相容於已建置電漿輔助化學氣相沈積系統功能，包含控與安全連鎖功能等。 加熱器變形問題:原設計加熱器材質為鋁，在使用時因加熱而使材料強度變弱, 又因真空關係，加熱器結構內外壓力差和不良設計造成加熱器變形。原設計之焊接位置不佳，背板厚度太小強度不足及主體與背板焊接點數不足：需針對新製之加熱器進行以下修改： 改變焊接位置, 增加背板厚度以加強結構之強度。 增加主體與背板的焊接點數(至少12點以上) 加熱器安裝之真空密封問題:原設計會發生真空度不足問題，需將原設計之軸向密封(Axial Seal)方式，修改為面密封(Face Seal)設計。 玻璃傳輸時的對位問題：需使用45度角自動重力定位，利用偏心調整定位 Heater電源導線更換：原加熱電源導線(3.5mm2)過熱現象生，電源分控箱首腔體加熱器接線處更高溫導線5.5mm2)。 以上需依現場實際狀提供相關修之設計圖說。、製程規格與驗收項目加熱器測試 (1)需可加熱至400oC (2)實際加熱器表面溫度均勻度±3% (3)焊接後真空測試, 漏率小於5*10-9 torr/sec。 (4)安裝後腔體真空測試，腔體壓力可達5x10-5 torr。 玻璃傳輸對位測試 機械手臂作玻璃的傳輸, 自Load Lock到各腔體, 再由各腔體傳送回Load Lock，真空傳片100次正常，且玻璃載片無偏移；玻璃的傳輸可將玻璃放在加熱器正確位置上。 、 投標時應檢送相關資料，包含： 廠商登記或設立之證明。 檢送與本案招標標的類似（需具化學氣相沈積系統並應用於矽薄膜太陽能電池之經驗）之製造、供應或承做證明文件（如：訂購單、合約書或驗收等證明文件）。 請投標廠商提供可相容於電漿輔助化學氣相沈積系統修改之(1)加熱器系統設計Layout圖說；(2)與電漿輔助化學氣相沈積系統系統連結方式; (3)所需之物料清單與數量。以利於規格審查之進行。 測試與驗收 機器設備到達本實驗室後，在指定地點進行安裝測試，並依據規範書所載明之各 項規格進行測試，經本實驗室人員確認符合規格後，方可驗收。 設備驗收G1尺寸基板為準。 保固 除了合約文件的要求外，廠商應依照合約文件與本實驗室之規定，自全部正式驗 收合格日起廠商負責保固一年(含軟硬体)。 除消耗性零件外，保固期限內，如由於設計或機台零件不良、非人為操作不當或蓄意導致發生之故障及主要機件毀損時，無條件免費修理或更換新品。 保固期限內，軟體使用上若發生異常，廠商應無條件升級或修改。 、履約期限 得標廠商需於決標30個日曆天內全部交貨至本實驗室指定地點，並且完成交貨、安裝、測試檢驗等作業。 逾期罰款：未能於履約期限內完成交貨及測試運轉，每逾一日按契約金額總價千分之一罰款，上限為契約金額總價百分之二十。 規範書釋疑聯絡人 投標廠商對本採購案所列規範有任何問題，請於招標期間釋疑期限內，向本實驗室前瞻元件組 黃文賢博士詢問。電話：03-5726100 分機7523 國家奈米元件實驗室 NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES 案號：NDL-P-106049 頁 數 PAGE: 6 OF 6 購案名稱：G1電漿輔助化學氣相沈積統程腔體加熱器統購與設計改 本財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形