不同介电质层对弹性体表面形貌的调控作用 - 中国表面工程.pdf

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２６ １ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１３ ２ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｆｅｂｒｕａｒ ２０１３ ｙ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１３．０１．００８ ｊ 不同介电质层对弹性体表面形貌的调控作用 王 斌，徐欢欢，周振婷 　 （南京师范大学 物理科学与技术学院，南京 ２１００２３） 摘 要：利用涂饰技术调控弹性体材料的表面形貌，有助于提高表面材料的稳定性及相关器件的运行性 　 能，同时为微纳米尺寸的图形制备提供参考。通过物理气相沉积法在弹性体 ＰＤＭＳ（聚二甲基硅氧烷）衬底 表面分别沉积了 、 及 三种介电质材料并对各形貌的形成进行了分析。结果表明，通过在 ＳｉＯ Ｍ Ｆ ＺｎＳ ２ ｇ２ ＰＤＭＳ衬底表面蒸镀不同的介电质材料，可以形成褶皱、龟裂及平坦的表面形貌；通过光刻及软光刻技术在 衬底表面预制具有周期性的凹状图形，可以对褶皱、龟裂的方向进行调控，使褶皱、龟裂等形貌呈有序性分 布；通过对比介电质材料在加热冷却过程中所受的应力与临界应力的大小，可以方便地选择合适的介电质材 料来制备所需的弹性体表面形貌。 关键词：表面形貌；物理气相沉积；应力 中图分类号： ； 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４ ＴＱ３３４ Ａ １００７９２８９２０１３０１００４５０６ 　　 　　 犆犺犪狀犲狊狅犳犛狌狉犳犪犮犲犕狅狉犺狅犾狅 犫 犆狅犪狋犻狀 犇犻犳犳犲狉犲狀狋犇犻犲犾犲犮狋狉犻犮犔犪犲狉狊狅狀 犵 狆 犵狔 狔 犵 狔 犈犾犪狊狋狅犿犲狉犻犮犘狅犾犿犲狉 狔 ， ， ＷＡＮＧＢｉｎ ＸＵＨｕａｎｈｕａｎ ＺＨＯＵＺｈｅｎｔｉｎｇ （ ， ， ） ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｓｉｃｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏ Ｎａｎｉｎ ＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｎａｎｉｎ ２１００２３ ｙ ｇｙ ｊｇ ｙ ｊｇ 犃犫狊狋狉犪犮狋：Ｒｅｕｌａｔｉｎ ｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｍｏｒｈｏｌｏ ｏｆｅｌａｓｔｏｍｅｒｍａｔｅｒｉａｌｂ ｃｏａｔｉｎ ｔｅｃｈｎｏｌｏ ｉｓｂｅｎｅｆｉｔｔｏｉｍ ｇ ｇ ｐ ｇｙ ｙ ｇ ｇｙ ， ／ ｒｏｖｅｔｈｅｓｔａｂｉｌｉｔｏｆｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｓａｎｄｔｈｅ ｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｔｈｅｄｅｖｉｃｅｓａｓｗ