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x射线模及 - 中国物理c

29 Vol. 29, Supp. 2005 12 HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS Dec., 2005 / X * 1;1) 1 1 1 1 2 2 1 ( 100029) 2 ( 100049) , X , . X , , , , , X . / X , , , ZEP520 , SF /CHF , 6 3 . X . X X 1 , 100nm 193nm : 4 1 , , , . , X 50nm, X (Proximity X-ray Lithography PXL) . , X , , , , Au , PXL 35nm 35nm , Au , , Au [1—3] . PXL , ( , ); , PXL , . 2000 PXL , [4] , , , , , PXL . : , X X 1 1 , X [5] . : / X , IBM , 1 1 X X , , / X , TaSi : , ZEP520 1 1 X X , , 180nm , TaSi , X , / X , 100nm , , , X . * 1) E-mail: xraylith@public.bta.net.cn

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