紫外光对聚合物表面微区域修饰诱导银选择性沉积制备 - 中国表面工程.pdf

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２５ １ Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１２ ２ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｆｅｂｒｕａｒ ２０１２ ｙ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１２．０１．０１８ ｊ 紫外光对聚合物表面微区域修饰诱导银 选择性沉积制备微米级金属图案 唐红肖，吴仲岿，杨 军，李少英 　 （武汉理工大学 材料科学与工程学院，武汉 ４３００７０） 摘 要：采用波长为 的真空紫外光刻蚀技术（ ）对清洗后的 基片表面性质直接进行微加 １７２ｎｍ ＶＵＶ ＰＥＴ 　 工，并在其表面上进行选择性无电解镀银处理。通过对紫外光照处理前后的 ＰＥＴ基片进行水接触角测试、 ＸＰＳ测试，表征了ＰＥＴ基片在处理前后所具有的不同表面状态。将在真空条件下通过紫外光选择性刻蚀的 的ＰＥＴ基片放在化学镀银液中，被还原出来的金属银颗粒就会沉积在 ＰＥＴ基片上的被辐射区域。利用光 学显微镜和场发射 ＳＥＭ观察镀银后 ＰＥＴ基片表面的微银图案。结果表明：紫外光照可使 ＰＥＴ基片表面改 性，利用真空紫外光刻蚀技术（ ）对 基片表面进行区域选择性改性，就可以实现无电解电镀银在 ＶＵＶ ＰＥＴ ＰＥＴ基片上的选择性沉积，一次性制备出保真性较好的微米级镀银图案。 关键词：ＰＥＴ基片；真空紫外光刻；图案化；选择性；无电解镀银 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４２ Ａ １００７９２８９２０１２０１００９９０５ 　　　 　　　 犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犕犻犮狉狅狀犛犻犾狏犲狉犘犪狋狋犲狉狀狊狅狀犘狅犾犿犲狉狊犛犲犾犲犮狋犻狏犲犾犕狅犱犻犳犻犲犱犫 犝犞 犾犻犺狋 狔 狔 狔 犵 ， ， ， ＴＡＮＧＨｏｎ ｘｉａｏ ＷＵＺｈｏｎ ｋｕｉＹＡＮＧＪｕｎ ＬＩＳｈａｏ ｉｎ ｇ ｇ ｙ ｇ （ ， ， ） ＷｕｈａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏ ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎ Ｗｕｈａｎ４３００７０ ｙ ｇｙ ｇ ｇ 犃犫狊狋狉犪犮狋：ＰＥＴｓｕｒｆａｃｅｗａｓｄｉｒｅｃｔｌｍｏｄｉｆｉｅｄｂ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔｌｉｔｈｏｒａｈ ａｔａｗａｖｅｌｅｎｔｈｏｆ１７２ｎｍａｆｔｅｒｂｅｉｎ ｙ ｙ ｇ ｐｙ ｇ