BaZr03Ti07O3铁电薄膜的制备.pdf

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2017-07-19 发布于浙江
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BaZr03Ti07O3铁电薄膜的制备

( ) 第23 卷第2 期新疆大学学报自然科学版 V o l. 23, N o. 2 ( ) 2006 年5 月 Jou rn a l o f X inj iang U n iver sity N atu ra l Scien ce E d it ion M ay, 2006 ( 0. 3 0. 7 ) 3 铁电薄膜的制备 Ba Zr T i O 1 2 1 张红燕 , 翟继卫 , 张　军 ( 1 新疆大学物理系, 新疆乌鲁木齐 830046; 2 同济大学功能材料研究所, 上海 200092) 摘　要: 介绍了用溶胶- 凝胶法( ) 在衬底和石英衬底上制备 ( ) 铁电薄膜的 so l ge l P t T i SiO 2 Si B a Zr0. 3 T i0. 7 O 3 基本原理、工艺过程及工艺特点; 制备的 ( ) 铁电薄膜表面平整、厚度均匀. So l ge l B a Zr T i O 0. 3 0. 7 3 关键词: 溶胶- 凝胶法; 铁电薄膜; B a (Zr0. 3T i0. 7)O 3 中图分类号: O 469　　文献标识码: A 　　　文章编号: (2006) 020 18203 ( 0. 3 0. 7 ) 3　 Techn ology of Prepar in g Ba Zr T i O Ferroelectr ic Th in F ilm 1 2 1 , , ZHAN G H