CaO—B2O3SiO2系可析晶玻璃材料研究进展.pdf

维普资讯 CaO-BzO。一SiO 系可析晶玻璃材料研究进展 ／王晓东等 ·43 · CaO—B2O3-Sio2系可析晶玻璃材料研究进展 王晓东，张树人，周晓华 ，郭华伟 ，唐 斌 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 ，成都 610054) 摘要 半导体技术的持续进步使片问信号传递效率成为影响整机性能的瓶颈。多芯片组件等高密度封装作 为解决方案，要求封装材料具有高频低损耗、低介电常数和良好的机械性能。CaO-B203一SiO2系可析晶玻璃材料能够 满足这些要求，并引起了人们极大的关注与研 究。综述了近年来针对CaO-B203一SiO2系可析晶玻璃材料 的技术难 点、制备工艺、掺杂剂和热分析方法等多方面研究进展，提 出了该体系材料需要进一步解决的问题。 关键词 ca()_B203一siO2 微晶玻璃 硅灰石 LTCC 热分析 中图分类号：TQ17171+8．3 文献标识码：A ResearchProgressinCaO-B203一Sio2CrystallizableGlass WANG Xiaodong，ZHANG Shuren，ZHOU Xiaohua，GUO Huawei，TANG Bin (StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevice，UniversityofElectronicScienceand TechnologyofChina，Chengdu610054) Abstract Theefficiencyofinterchipcommunication iSnow achokepointofsystem performanceduetothe continuousprogressofsemiconductortechnology．Asoneofthesolution，thehighdensitypackage，includingmulti- chipmodule，requiresresearcherstOdeveloppackagematerialswithlow dielectricloss，low permittivityathighfre— quencyandrobustmechanicalproperties．TheCaO-t~0—SiO2crystallizableglasscanbeoneoftheresortsandisinthe recentfocus．Theresearchprogresseslikedomesticdilemma，synthesisprocess，dopingagentsandthermalanalysis methodsarereviewedinthispaper，withfurtherattentionpropo sed． Keywords CaO-B2 一SiO2，glassceramics，wollastonite，LTCC，thermalanalysis (DSC)等热分析手段是研究玻璃失透性能的必备工具。通过热 0 前言 分析研究不同配方和工艺的CaO-B203一SiO2系可析晶玻璃 的 微电子封装对电子电路及其系统性能的影响越来越重要。 晶化产物和含量，研究者们希望能够全面控制材料的微观结构 随着硅和砷化镓集成电路(IC)的速度和复杂度越来越高，它们 及其对应的宏观性能 ，最终达到系列化材料设计和材料定制 和其他芯片的通信效率越来越取决于封装和互连材料。封装