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RENA InTex 机器的操作手册 by Dr. Ihor Melnyk Axel Herguth 1.一般的規章 • 在腐蝕性的化學製品工作需要足夠的防護衣，建議使用抵抗腐蝕性的 蓋板/衣服，鞋，手套和护目镜。 此外确保自己如果发生事故,能找到 適當的緊急事件冲冲洗設施。 • 決不在機器內單獨工作 • 當時操作的機器請不要打開/ 除去蓋板 ，由於內部蒸汽有特別危险性 的鹼或酸化學品 2.RENA InTex 機器正常操作 时的要求 化學供應和處理 1.正規操作的 RENA InTex 须分別要求穩定的供應 HF 15 (L/h)的， 15 (L/h)HNO3，5 (L/h) HCl，3(L/h) KOH 和 DI water。 這些数值可以隨用 量不同而變化。 另外， 建议有備用 HF 150 L，HNO3 250 L，75L HCl 和 KOH 10 L 的给新的化学槽使用。 2.對化學製品的準確測量來說，至少要求 7 L /min 的流量。 对于使用 的化学槽處理，提供適當化學 品HF/HNO3 供應给蝕刻槽, 最大的體積是550 L。 壓縮空氣 1.對 RENA InTex 機器的 Air Knifes 規定的操作压力要求至少 4bar 的氣壓。 如果 Air Knifes 不使用，壓力必須是 6bar。 2.如果 Air Knifes 的氣壓不足， HF 和來自蝕刻槽的 HNO3 可能發生不需要 的流量 ， 導致alkaline bath 蝕刻产生棕色污點，因此造成产品品質不良 。 3.如果不足的氣壓在 Air Knife 2 和 3 wafers 可能沒被正確地 吹干 ， 將需要 另外的清潔程序做其它的處理。 • 当Air Knife 动作时請确认全部閥門都打開. 02.05.2006 F:\Tech_Doku_phu\Standarddokumentation\Solaranlagen\ 2/17 chinesisch\Chineseversion.doc 3. 旧的蝕刻槽處理 蝕刻槽 1.選单為 Manual etch bath Figure 1: Manual Etch bath: disposal of old bath 2.“mode man.” ，透過按按鈕選擇手控模式。 3. 按下system draining” 蝕刻槽和 tank 的化学品將被排掉 4.等化学品排放過程完成，圖表显示Empty(黃色)為蝕刻槽以及Tank 准 备下一道程序 5.蝕刻槽以及Tank 沖洗，按下“system rinsing” 沖洗(螢幕的左邊)。 蝕刻 槽以及Ta