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应用专题 Lp…IONS 抓紧创新 提升我国集成电路制造软实力 · 苏澄 [摘要]集成电路是信息技术产业的基础性和先导性产业， 其技术水平和发展规模已经成为衡 量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。美国的集成电路产业在日本崛起之前独 步世界，基本采取自由市场的发展方式。 随着竞争的加剧，美国、 韩国等都在不同阶段越来 视政府在其中的推动作用o 其中，半导体代工制造对于实现成本控制、工艺提高，尤其 越重 是对于我国半导体产业的优化与提升有着极其重要的意义。 [关键词]集成电路制造创新 [中图分类号] F426 [文献标识码] A [文章编号] 1674-2583(2015)03- 0038-02 集成电路是信息技术产业的基础性和先导性 品验证和生产线建设，预计2015年可以试量产。我 产业，其技术水平和发展规模已经成为衡量一个国 们对于28纳米工艺在2013年年底就己基本定型，之 所以还没有进入量产，是因为这中间还有 一些优化 家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。正是因 为这一点，许多国家和地区都十分重视集成电路产 的工作要做. 业的推进工作，包括美国、韩国、日本等。美国的 在国际上， 28 纳米工艺大体有两条发展路 线:多晶硅 (PolySiON) 和高介电常数金属闹极 集成电路产业在日本崛起之前独步世界，基本采取 自由市场的发展方式。随着竞争的加剧，美国、韩 (HKMG) ，前者低成本，后者高性能.目前市场上 国等都在不同阶段越来越重视政府在其中的推动作 除台积电在高介电常数金属闸极上实现了较高的良 用. 其中，半导体代工制造对于实现成本控制、工 品率外，其他厂商的良品率都还不高.如果中芯国 际能够通过自身的努力将 艺提高，尤其是对于我国半导体产业的优化与提升 28纳米高介电常数金属闸 工艺也投入量产的话，必将为国内乃至国际客户提 有着极其重要的意义。 供更多的服务。 1 噩诩嗣造工艺刨黯 值得一提的是， 28纳米工艺节点为长节点， 我国集成电路制造产业必须抓紧创新，否则将 可能会持续5-6年，甚至6-7年的发展时间.抓住 这一机遇，企业将可获得良好的商业回报。与此同 面临着严酷的竞争压力. 我国集成电路制造业无论在投资强度上，还是 时，中芯国际还在进行14纳米工艺的研发，预计到 经济规模上，与美国、日本和韩国等发达国家和地 2017年可完成该工艺的验证. 区的差距还十分明显.随着全球集成电路技术和投 除逻辑芯片制造外，中芯国际在存储芯片的 资的竞争越来越激烈，我国集成电路制造产业的发 工艺制程上也取得突破，日前自主研发的38纳米 展必须抓紧创新，否则将面临着严酷的竞争压力， NAND闪存工艺已经准备就绪，中芯国际也成为国 更严重的是，我国要建立的整个集成电路产业发展 内唯一一家能够为客户生产NAND产品的代工厂。 的自主体系也必将遇到障碍. 在此之前，中芯国际已经连续开发出了130纳米、 65纳米等工艺的特殊NOR闪存平台，其中， 55纳米 中芯国际在这些年的发展中十分重视技术创 新， 在工艺研发、追赶国际先进水平上做出了不懈 pFlash已经进入量产， 后续中芯国际还将继续研发 的努力.目前，中芯