§ 48 激光传感器.ppt

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§ 4.8  激光传感器 高方向性 高单色性 能量高度集中 干涉能力强 * * 德西门子系列激光传感器 激光特性 利用激光技术可以检测长度位移速度转速振动表面质量等参数 激光干涉测长技术 单频 激光干涉测长技术 N -干涉信号的交变次数 λ-空气中的激光波长 λ 0 -真空中的激光波长 n -空气折射率 k -细分系数 q -细分后脉冲的长度当量q=λ0/k m -细分后接受的数m=Nk 被测长度计算公式 L=Nλ/2=Nλ0/2n=Nkq/2n=mλ0/2nk 测量误差 单频 激光干涉测长技术 双频 被测长度计算公式 激光全息干涉测量技术 主要用于测量物体表面位移(变形) 激光衍射测量技术 被测直径计算公式 激光准直测量技术 *

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