Gatan Dimpler 使用方法.PDF

Gatan Dimpler 使用方法 1. 首先用石蜡将样品粘在专用的小圆柱上。把那个用来装水的金属环套在小圆 柱上,放进那个坑里。 2. 用显微镜观察，调节样品至旋转中心。就是底座旋转着，样品还能keep在中 心。 3. 装上金属砂轮, 然后放下来,这时候应该没有接触样品,因为有个支撑杠保护 样品。需要转动旁边的那个轮子才能把金属砂轮先略微抬高而后接触样品。这个 时候就应该是你要找的接触点，零点。 而这时候带有接触式传感器的那个杠子 还没有接触到砂轮的支撑杠。 4. 转动那个控制带有传感器的那根杠的轮子,使其往上走,直到接触到砂轮的支 撑杠,这时候指针会开始动，一直转到指针指向零点，这时候应该是传感器的杠, 砂轮支撑杠，还有样品平面，都在一个高度。这时候就可以设置为零点。在数字 屏幕那按下清零，就是零点设置了。 5. 设置好零点后，转动传感器的杠子往下走一定数值,取决于你的样品厚度和你 自己需要了。譬如一个 si 样品,~80um,除去 Mo ring 的~35um,剩下 45um. 那就 可以往下设置 30um。这样就意味着传感器的杠子低于样品面 30um. 当 dimple 掉 30um 的时候，指针就应该在零附近晃动。 如果你按了 auto 的话，机器在 dimple了30um后就自动会停。 6. 设置好需要 dimple 掉多少的数值以后,把金属砂轮抬起来(转动那个支撑杠 的轮子), 往样品上挤点粗的研磨膏,加点点水,然后转动金属砂轮和底盘(这时 候没接触样品),然后转动支撑杠的轮子,轻轻放下金属砂轮直到完全 touch 样 品，就开始磨了。这样先转动再接触是防止从静止到转动的突变对样品有冲击。 7. 磨一段时间后，需要换研磨膏.因为磨下来的渣子会留在研磨液里，就变成渣 子在磨。所以看到水变脏了就得换研磨膏。可以转动砂轮的支撑杠的轮子,把砂 轮慢慢抬起来，而不是直接停止砂轮和底盘转动,因为这样可以避免突然停顿对 样品有冲击。这跟上一步先转动砂轮和底盘然后再接触,道理其实差不多。抬起 轮子以后，就可以停下转动，把样品上面的脏水用纸吸走,清洗下表面，然后再 挤点研磨膏，加点点水，重复上一步动作,就继续磨了。 8. dimple掉了设置的数字后,这个时候你就可以停下来看看样品有没有透光了, 如果没透可以再多 dimple 个几个 um。一般零点只在开始的设置,以后就不去设 置了,dimple的数用累积来计算.因为dimple过了以后,你再去找零点,很可能找 到的不是最低点, 你又设置了一个数值,dimple 下去，可能最薄的地方已经破 了，白做。 9. 如果看到透光了，开始可能是一点点红光,那就可以改用细的研磨膏再 dimple 一两分钟,把表面光滑点.这时候透光应该更厉害. 然后改用软的砂轮, 再磨一会就差不多了。这个方法只适用于硅样品。其他样品比如金属样品再磨漏 以前是不会透光的！还有很多样品比如MgO，STO,完全透明的，观察轮廓和估计 厚度会很困难。如果你不幸遇到这样的样品，呵呵，就得小心咯。 10. 有时候观察透光是比较费劲的事情。底下的灯光太暗了,可能透光少，影响 判断。但太亮了也不好，会导致周围很亮,中间样品很暗,是contrast的问题. 我 的做法是弄两张很小的不透光的小纸片,挡住旁边的强光,就露出样品中心来，就 可以看透光情况了。 11. dimple需要多练习,从中寻找感觉。每个人做法可能不一样，习惯也不一样， 只有在多练习中找到比较适合自己的方法。做完 dimple 后,大家养成习惯,把那 个带有传感器的杠往下转到最低，这样避免别人下次用的时候碰坏那个传感器。 还有就是把dimple仪器清洗干净，呵呵。这些都是老板反复强调的。