XpressKleen JKC 过滤器 - 颇尔过滤器.PDF

ME105CHa XpressKleen JKC 过滤器 高清洁度、表面改性PTFE过滤器 Xpr ssKl n JKC 过滤器是针对最尖端半导体工艺流程 管理要求的高清洁度、颗粒去除性能高的全氟树脂过滤 器。使用普通PTFE膜过滤起泡性流体时容易产生液流不 通畅的问题，此产品是针对起泡性流体过滤而开发的小 型过滤器。通过颇尔的必威体育精装版膜表面改质技术，抑制了过 滤介质的去湿性，在RCA洗净工艺中保证了流量的稳定 性。滤壳一体式的小型KC (Kl n-Chang )体积小巧， 压损小，占地面积极少。适合用于单晶园清洗机和涂胶 机等化学品流出之前的过滤。 特性 ●有12nm、15nm、30nm和50nm的过滤精度供选择 ●高清洁度、表面改性PTFE过滤器 ●出货前保证去除金属离子量 ＜3ppb(共13元素) 、＜0.1ppb(Ni) 、＜0.2ppb(Cu) ●出货前管理40nm液体中的颗粒以及TOC ●所有产品在出厂前均经过酸洗处理，并封入超纯水 ■材质 优点 构成部件 材 质 过滤介质 表面改性PTFE ●可大幅度缩短设备的停机时间 支撑层 PTEE/ PFA ●更换过滤器可减少使用的化学品 内芯、网罩 PFA ●适用于起泡性流体，并可确保稳定的流量 端盖 PFA 外壳 PFA ■规格 过滤精度 50 nm 30 nm 15 nm 12 nm 过滤等级 XPD XP30 XP15 XP12 形状 Inlin 型 过滤表面积 1.3 m2 最高使用温度 120 ℃ （ ℃以下） 0.50 MPaG 40 （ ℃以下） 最高使用压力 0.20 MPaG 90 （ ℃以下）