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目錄 目錄 ii 圖 目 錄 iv 表目 錄 v 第一章 緒論 6 第二章 文獻回顧 2 2.1 前人文獻回顧 2 2.1 鑽石線鋸 6 第三章 研究方法 18 3.1實驗流程 18 第四章 市場評估分析 31 4.1晶圓市場評估分析 31 第五章 結論與未來研究討論 34 5.1 結論 34 TEL: +886-7-8313082 │ FAX: +886-7-8313081 iii NO. 46, SANCHENG RD., FENGSHAN DIST., KAOHSIUNG CITY 83086, TAIWAN 台灣聯合磨料有限公司 圖 目 錄 圖 2-1內圓鋸鋸片鋸切晶棒示意圖 4 圖 2-2固定磨粒與游離磨粒鋸切方法 5 圖 2-3 以複視線鋸方法鋸切晶棒 6 圖 2-4硬焊 電鍍 與樹脂塗覆方式之鑽石突出面示意圖11 圖 2-5 旋轉工作物的工作方式 12 圖 2-6 旋轉工作物的工作方式 13 圖 2-7 鑽石線鋸在市場上的運用其中電子業佔了 43.4% 13 圖 2-8 游離線鋸電鍍線鋸與樹脂線鋸之比較與其切割示意圖 14 圖 2-9國外電鍍線鋸量廠機與一般線鋸之比較 15 圖 2-10國外線鋸產品簡介 16 圖 2-11樹脂鑽石線鋸圖 16 圖 2-12電鍍鑽石線鋸圖 16 圖 2-13硬焊鑽石線鋸圖 17 圖 2-14硬焊鑽石線鋸圖 17 圖 3-1 樹脂鑽石線鋸示意圖 24 圖 3-2 電鍍鑽石線鋸示意圖 25 圖 3-3 連續式高壓放電電焊鑽石線鋸示意圖 25 圖 3-4 未來可定製線徑方法與規格 26 圖 3-5 游離磨料與固定磨料比較圖 27 圖 3-6 藍寶石晶圓晶棒 27 圖 3-7 矽晶圓晶棒 28 圖 3-8 鑽石線鋸切割出來的單晶矽 29 圖 3-9新型方法製做鑽石線 30 圖 4-1 全球太陽能電池產能預估圖 31 圖 4-2 全球LED 產業預估圖 32 TEL: +886-7-8313082 │ FAX: +886-7-8313081 iv NO. 46, SANCHENG RD., FENGSHAN DIST., KAOHSIUNG CITY 83086, TAIWAN 台灣聯合磨料有限公司 表目 錄 表 2-1 取自旭金鋼石網站 10 表 3-1 素線尺寸(mm)-粒度(μm)(成品直徑mm) 22 表 3-2捷斯奧的機台參數 23 表 3-3 鑽石線種類 25 表 3-4 未來鑽石線鋸鋸切晶棒應用之標準與應用範圍 26 TEL: +886-7-8313082 │ FAX: +886-7-8313081 v NO. 46, SANCHENG RD., FENGSHAN DIST., KAOHSIUNG CITY 83086, TAIWAN 台灣聯合磨料有限公司 第一章 緒論 在高科技行業的製程中，從過去的一般加工方式，也慢慢的演進成 特殊的加工方式，就本研究來說最早鋸切晶圓(Ingot)的方式是使用圓鋸 片，後來慢慢演進成拉鋸，再來是排鋸。然而現在最廣泛使用的確是鑽 石線鋸 (diamond wire saw) ，因為它能顧及圓鋸的單一方向鋸切之優點