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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究
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谢本超 卢振武 李凤有
!）（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，应用光学国家重点实验室，长春 !#$$## ）
）（中国科学院研究生院，北京 !$$$#% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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研究了曲面拟合法对特定抛物和双曲近柱面检测中波前像差的处理过程，结果表明，对振幅为$ ( !!的中频正
弦型面形，由曲面拟合法得到的结果与该正弦型面形之差的 值分别可以达到 （ ）和
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（ ）通过分析拟合阶数对精度的影响，确认存在一个特殊的阶数 、它使曲面拟合法的精度达到最高；讨论
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了估计 值的方法，得到了和 真实值完全符合的估计值，表明这些方法是行之有效的
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关键词：光学检测，近柱面，曲面拟合
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到： ， 波前拟合法有两个优点：无需明
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引 言 确 的值，降低了对装调精度的要求；得到的结果
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不含 的低频成分 ，实现了中、低频成分的自
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