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静电防护技术
主讲老师:林文荻
主办单位:中国兵工学会
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第一篇静电产生对电子生产制造业的不良影响
1节静电产生与静电效应
2节静电对电子生产制造业的危害
3节静电放电敏感器件
4节电子生产使用环境中的静电源
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1节静电产生与静电效应
通常任何物体所带有的正负电荷是等量的,当与其它物体
摩擦、接触、并由于机械作用分离时,因两种物体摩擦起
电序列不同,在一种物体上积聚正电荷,另一种物体则积
聚负电荷,在各物体上产生静电,并在外部形成静电场。
两种物质互相摩擦是产生静电的一种方式,但不是唯一方
式。像喷 作业水滴吸附空气中的负离子促成其表面双电
层的形成,也可产生静电。
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静电荷所产生的静电场有下列三种物理效应对电子工业影响
甚大。
⑴静电荷产生的电场力
物体产生静电后,在其周围形成静电场。位于静电场中的
任何其它带电体都会电场力排斥或吸引。按库仑法则电场
力可用下式表示
q q
F=k 1 2 K= 1
2
r 4 πε (1-1)
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F 电场力(牛顿)
q q 分别为两带电体具有的电荷量 (库仑)
1 2
r 两带电体之间距离 (米)
ε 电容率(8.85 ×10-12)
当两种物体所带电荷极性不同时,物体之间产生吸引。电荷
极性相同时,之间产生排斥。实验表明,一般绝缘体或电
介质产生静电后,每平方厘米静电仅为几至数百毫克力。
这样小的力对重物则毫无作用,但对重量仅为几毫克或更
低的毛发、纸片、尘埃、纤维的吸附作用则非常明显。
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⑵静电放电 (ESD )
当某些电介质、导体带上静电荷后,尽管所带电荷量不
多,但由于 对大地分布电容非常小,使得静电电位较
高。当垂直于带电物体表面的静电电位大约2000伏时,可
向空气放电。对于人体静电放电,通过实验可以得知最小
放电能量也可以达到3.12 ×10-4焦尔。瞬间的放电电流峰
值可以达几安培以上。
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