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单刀双掷RF MEMS开关的研究与设计.pdf
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
年 月
单刀双掷 开关的研究与设计
黄继伟 王志功
东南大学射频与光电集成电路研究所南京
摘要介绍了一种基于横向金属接触的 单刀双掷 开关的研究与设计 横向金属接触开关包
括了一套有限的共面波导 传输线和左右摆动的悬臂梁 为了降低开启电压设计了一种曲折型的折叠梁
结构通过理论分析与仿真实验验证了该结构的可行性并利用 工艺加以实现 测试结果显示该开
关在 处的插入损耗为 回波损耗大于 隔离度为 测得最低开启电压为
关键词单刀双掷 折叠梁横向接触
中图分类号 文献标识码 文章编号
组成的 型节的两臂各由两个单刀单掷开关组成
引言 其中一个是串联欧姆接触式开关另一个是并联电
容式开关 触发端口 的欧姆开关与端口 的电容
低的插入损耗良好的线性度和极低的功耗使 开关信号就能以很小的损耗从端口 输出 等
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