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New!更高像素摄像头New!更快的测量速度New-便携式白光干涉仪

SmartWLI-Prime Dual Z-axis双轴三维形貌轮廓仪 ——配备 0.1nm高分辨率 的小量程 Z 轴和小于 100nm分辨率的大量程 Z 轴 New ! 更高像素摄像头 New ! 更快的测量速度 New ! 更佳的LED电源 New !更好的干涉物镜  产品特点 1 .两种 Z轴移动控制模式 ,压电陶瓷马达控制小量程和 步进电机控制大量程,整体测量范围实现 0.1nm~100mm ; 2 .小量程 Z轴实现最大400um的测量范围 ,测量分辨 率在 PSI模式下 0.1nm ; 3 .大量程 Z轴实现最大 100mm的测量范围 ,测量分辨 率小于 100nm ; 4 .Z轴方向移动的实现自动控制 ,通过相关软件和控制 手柄可自动对焦 ,同时Z轴采用自动拼接技术 ,实现整 体全自动测量 ; 5 .标配压电陶瓷马达控制的Z 轴测量头 ,样品垂直方向 测量最大高度 :400um ,测量分辨率 PSI模式 : 0.1nm ,VSI模式 :1nm ; 6 .配置控制和快速采集信号采集软件 SmartWLI_VIS , 采集时间快 ; 2015年 11月, 德国WinWinTec公司再次向市场推出了 一款由我公司代理的SmartWLI品牌的三维相貌轮廓仪 ,该产 品将两种Z 轴方向的移动控制模式整合在一起 ,是两种模式一 体化 ,可以实现两种Z 轴移动模式的自由切换 ,测量范围从 nm水平到 mm水平 ,实现纳米分辨率到亚微米分辨率 ,可测 量不同类型的产品 ,适用于大轮廓形貌到微小形貌的多种应用 需求。  产品测量结果图像 1. 3D 图 螺纹副 图像 图2. 螺纹副局部表面形貌  产品配置参数 测量系统 测量原理 白光干涉 纵向测量范围 (um) Max 100mm (其中 Piezo 模式 Max :400um ,Z-actor模式 Max :100mm) 摄像头参数 New ! CCD摄像头 ;1936×1216像素 ; 光源 (nm) New ! LED 542 ,高亮度 ,软件控制 ; 纵向分辨率 (nm ) PSI模式 :0.1nm ,VSI模式 :1.0nm, Z-actor模式 :<100nm ; 最大扫描速率 (μm/s ) 48 ; 测量时间 (Z 轴方向 20um )New ! 小于 3s ; 台阶高度重复性和准确性 : 0.1% 和 0.75% ; 最大坡度 : 42° (光滑面 )和 87° (粗糙面 ); Z 轴对焦和样品高

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