光学薄膜厚度修正挡板的设计1∫01∫01∫01∫0-光子学报.PDF

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光学薄膜厚度修正挡板的设计1∫01∫01∫01∫0-光子学报

2 8 9 1. 2 8 . 9 V o N o 1999 9 A CT A PH OT ONI CA SINICA Sept em ber 1999 林 坚 林永钟 廖群峰 ( , 350007) 本文论述 一种用于镀制光学薄膜的厚度修正挡板新的设 方法 . 我们通过应用截流 蒸气云静止挡板技术和采用平面静止挡板透视投影法来设 光学薄膜厚度修正挡板. 最后给 出设 和实验的结果. 光学薄膜; 厚度修正挡板; 透视投影; 设 0 2 n n , d = d 0( s0 s) ( cos cos cos 0cos0) ( 1) , S P ; , ; S P , , ds S n , , n , , , , . , . 000 0 , d S , . , , ( 1) , , , , , , . ( 1) . , , , , ( 1) . , , , A ( ) , , ( 1) 2 . , d = ( 1- A ) K 4I n + A K 4I 0 ( ) ( 2) d0 ( 1- A ) K K nJ + A K J ( ) ( 3) , 4 2 n 4 0 1 d , I n = 0 ( n+ 3) 2 , J n = [ a - bco s] . 1 c- ecos 1 d ( n+ 3) 2d; I 0= 3 2 ; 1 0 [f - g cos

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