双压电晶片驱动喷嘴挡板式伺服阀-吉林大学学报.PDF

第 35 卷 　第 2 期 吉 林 大 学 学 报 ( 工 学 版 ) 　Vol . 35 　No . 2 2005 年 3 月 Journal of J ilin U niver sit y ( Engineering and Technolo gy Edition) 　Mar . 2005 文章编号 :167 1 - 5497 (2005) 02 - 0 153 - 04 双压电晶片驱动喷嘴挡板式伺服阀 曲兴田,鄂世举 ,吴博达 ,杨志刚 ,吴玉魁 (吉林大学 机械科学与工程学院 , 长春 　130022) 摘 　要 :给出了双压电晶片驱动喷嘴挡板式伺服阀的基本结构 ,分析了双压电晶片的频率特性 和静态位移特性 ,针对不同基板尺寸和晶片厚度进行了静态测试 ,在伺服阀实验台上进行了初 步验证 。试验结果表明:双压电晶片驱动喷嘴挡板式伺服阀具有结构简单 、响应快 、分辨率高 、 无电磁干扰 、易于控制的优点 ,可以满足现代精密高速控制系统的需要 。 关键词 :流体传动与控制 ;双压电晶片 ;喷嘴挡板式伺服阀;流量特性 ;压力特性 中图分类号 : T H 137 . 33 　　文献标识码 :A NozzleFlapper ServoValve Driven by Piezoelectric Bimorph QU Xin gtian , E Shij u , WU Boda , YAN G Zhigan g , WU Yukui ( ) Col leg e of M echanical S cience an d Eng i nee ri ng , J i l i n Uni ve rs i ty , Chang ch un 130022 , Chi na Abstract :A ba sic mechani sm of piezoelect ric bimorp h nozzleflapp er servovalve wa s develop ed . The f requency charact eri stic an d st atic di sp lacement charact eri stic of t he bimorp h were obt ained by t he st atic t e st s for diff erent ba se p lat e size s and diff erent bimorp h t hickne sse s. The flow charact eri stic curve s an d p re ssure charact eri stic curve s of t he bimorp h servovalve were obt ained by t he t e st s on a servovalve t e st bench . The exp eriment al re sult s show t hat nozzleflapp er servovalve driven by piezoelect ric bimorp h i s simp ly st r uct ure 、quick re spon se 、high re solution ratio 、lit t le elect ro magnetic int erference and ea sy cont rol , so it can meet t he need of mo der n sop hi sticat e highsp eed co nt rol sy st e