XPS 分析及软件应用.pptx

X射线光电子能谱 （XPS）分析及软件应用 报告人： 汪 鹏 1. XPS X射线光电子能谱 （X-ray Photoelectron spectroscopy）：以一定能量的X射线作为激发源，照射在检测物质表面，激发出光电子，通过对光电子的能量分布进行检测，获取的电子能谱图。 获取信息： 电子结合能 （元素定性） 原子结合状态 （化学价态） 半定量分析 （峰面积比例） 技术特点： 样品用量少 （ 0.1g） 分析范围广（3-92号元素） 不需要预处理 XPS分析示意图 2. XPS数据分析 2.1 数据处理 在分析的所有元素中，选择C 1S 在284.6 ev附近找到最大的峰，将其标定为284.6 ev，对结合能进行修正 峰值 背景值 结合能 以O元素为例，将修正后的结合能与峰值复制至新建的空白TXT文件中，保存 2.2 峰拟合 打开XPS Peak 软件，在XPS Peak Fit对话框中选择Data-Import （ASC Π），输入上步骤保存的TXT文件 点击Background，弹出对话框，调整High/Low BE值，Type，然后Accept-Close 背景起止数值 背景类型 （Shirley，Linear，Tougaard） 加背景后 点击Add Peak，弹出对话框，调整Position （峰位置），点击Accept后对话框消失，选择 Optimise Region自动拟合， 峰位置 拟合后 拟合结果不满意，继续上一步骤（添加峰），点击Add Peak，弹出对话框，调整Position （峰位置），点击Accept，选择 Optimise Region自动拟合（可多次点击） 添加峰拟合后 添加峰拟合前 自动拟合结果不满意，那就自己动手吧！调整不同添加峰的Position （峰位置），FWHM（半峰宽），Area（峰面积） 切换不同的拟合峰 峰位置，、半峰宽和峰面积 拟合后的结果 选择存为xps文件 输出XPS文件 选择Data-Export （Spectrum），输出为dat文件，可用origin重新作图 2.3 半定量分析 通过查阅不同拟合峰的峰面积，算出其相应的比例，得到半定量分析结果 Thank you！