净房基础知识教材.ppt

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净房基础知识 信利半导体有限公司 QA部 净房基础知识 一、洁净知识基础概念 二、净房洁净运作基本原理 三、净房洁净度等级 四、公司现行测试、文件执行注意点 一、洁净知识基础概念 净房: 也叫洁净室,是指空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 含尘浓度: 单位体积空气中悬浮粒子的颗数。 洁净度: 以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。(洁净度等级) 自净时间: 洁净室被污染后,净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级 净房气流类型: 单向流 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 垂直单向流 与水平面垂直的单向流。 水平单向流 与水平面平行的单向流。 非单向流 凡不符合单向流定义的气流。 混合流 单向流和非单向流组合的气流。 净房三态: 空态: 设施已经建成,所有动力接通并运行(指的是洁净系统),但无生产设备、材料及人员。 静态: 设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。 动态: 设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。 净房设备: 高效空气过滤器: 在额定风量下,对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。 传递窗: 在净房隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。 空气吹淋室: 利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。 洁净工作服: 为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。(表面摩擦不容易产生粒子、导静电作用) 纯水: 对电解质杂质含量(常以电阻率表征,DI水16M以上)和非电解质杂质(如微粒、有机物、细菌和溶解气体等)含量均有要求的水。 二、净房洁净运作基本原理 根据气流流型可将净房分为: 一、非单向流净房 二、单向流净房 一、非单向流净房 1、主要特点:从来流到出流之间气流的流通断面是变化的。 2、作用原理:稀释作用。气流从送风口送入室内,迅速向四周扩散、混合。同时同样体积的气体从回风口排走,干净气流稀释着室内污染的空气,把原来含尘浓度很高的室内空气稀释,一直达到平衡。 3、非单向流洁净室的效果 : 据非单向流洁净室的工作原理,它可以达到的洁净度一般为1 000~10 000(6-7)级,如果设计合理,部分情况下可达100(5)级。室内换气次数越大,一般来说,所得洁净度也越高。 二、单向流净房 1、垂直单向流净房: 顶棚满布高效过滤器送风,全地板格栅回风口,这是典型的垂直单向流洁净室。 2、主要特点: 从来流到出流之间气流的流通断面速度和方向一致。 3、基本原理: 在单向流洁净室内,干净气流充满全室断面,这种洁净室不是靠稀释作用,而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外,从而达到净化室内空气的目的。它自净能力强,能够达到最高的洁净度级别。 4、主要特点: A、全室断面上的流速比较均匀。 B、至少在工作区内流线平行。流线平行指时均流线 彼此平行。 C、至少在工作区内没有涡流。 三、净房洁净度等级 洁净度等级的注解 每个采样点应至少采样3次。 本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。 根据工艺要求确定1~2种粒径衡量洁净度等级。 各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn确定,要求的粒径在0.1μm~5μm范围,包括0.1μm及5μm。 式中: Cn—大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。Cn是以四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数。 N —洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。 D —要求的粒径(μm)。 0.1—常数,其量纲为μm。 四、公司现行测试方法、文件执行注意点 公司现在使用的文件为:08年5月28日发布《信利半导体净房环境监测作业指引 WI-31B005 》G版本。 目的:指导各部监测员对信利半导体各部的净房生产环境及有洁净度

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