三氯氢硅Silicochlorlform.PDF

三氯氢硅 Silicochlorlform 分子式：SiHCl3 英文名：Silicochlorlform 相对分子量：135.5 产品作用： 主要用于多晶硅、单晶硅原 料、外延成长、硅液、硅油、 化学气相淀积、硅酮化合物 制造、电子气。 产品性能： 在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动 易挥发的无色透明液体。在空气中极易 燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇 明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰 和白色烟，生成SiO2.HCl和Cl2。 产品用途： 电子级三氯氢硅是半导体发光器件和 半导体材料制造过程不可缺少的基础 性支撑源材料。它的纯度和洁净度直 接影响到光电子、微电子元器件的质 量、集成度、特定技术指标和成品率， 并从根本上制约着电路和器件的精确 性和准确性。 产品质量指标 详情请电询本公司客服电话：0722-3260212 / 生产工艺流程控制 产品包装 （如下图） 包装流程： 包装物处理方法 在使用完我们的特气后，我们建议您按以下步骤处理包装物： 1、拧紧钢瓶的进、出阀门,垫入垫圈并拧紧盲盖螺帽，以确保没 有泄露； 2、确认钢瓶上的品名标签与铁桶上的品名标签一致; 3、将钢瓶垂直放入铁桶 （切忌将钢瓶倒置）； 4、保证填充棉将钢瓶四周环绕好，以确保钢瓶不在桶中摇晃； 5、放入 MSDS 和填写好的 return form，在钢瓶顶部放一片大 块填充棉； 6、关紧桶盖，扣上扳手箍，并用铁丝将其锁好。 注意事项： 液体用玻璃瓶或金属桶盛装，容器要存放在室外阴凉干燥通风良 好之处或在易燃液体专用库内，要与氧化剂、碱类、酸类隔开，远离 火种、热源，避光，库温不宜超过25℃。可用氨水探漏。 三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。可用铁、镍、铜镍合金、镍钢、 低合金钢，不能用铝、铝合金。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚 合体、氟橡胶、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。 火灾时可用二氧化碳、干石粉、干砂，禁止用水及泡沫。废气可 用水或碱液吸收。