光电业沸石转轮焚化系统效率提升实厂改善案例.PDF

工業污染防治 第 93 期(Jan. 2005) 53 空污防制 光電業沸石轉輪焚化系統效率提升實 廠改善案例 張豐堂 * 、沈克鵬** 、粘愷峻*** 陳見財 *** 、林華宇**** 、陳良棟**** 摘 要 光電產業揮發性有機廢氣 (VOCs laden air)之排放濃度及風量普遍高於半導體 業，其中又以次世代之 TFT-LCD 面板製造製程為最大 VOCs 排放來源。國內 TFT-LCD 面板製程之 VOCs 廢氣最常使用沸石濃縮轉輪搭配熱焚化爐處理，處理 技術也隨業者經驗累積及設備精進而日益提昇，然對於許多新興製程的使用，陸續 產生系統效率穩定性降低的不明原因。本文主要探討光電業中 TFT-LCD 面板製程 之 VOCs 廢氣沸石濃縮轉 輪處理系統面臨效率問題，藉由工業局污染防制輔導資 源，結合業者及承包商經驗，共同找出效率降低原因，並提出具體改善方案，終至 恢復沸石濃縮轉輪處理系統原有期望效率，解決業者問題，並同時協助業者調整操 作參數，有效降低系統燃燒爐之瓦斯用量，節省燃燒費用，將此改善流程及方法提 出，期提供給相關業者做為參考案例。 【關鍵詞】VOCs 、沸石濃縮轉輪處理系統、效率提升、TFT-LCD *清華大學 工學博士 **工研院環安中心 經理 ***台灣產業服務基金會綠色技術發展中心 工程師、資深經理 ****經濟部工業局永續發展組 秘書、技正 54 光電業沸石轉輪焚化系統效率提升實廠改善案例 一、前 言 國內高科技產業所產生之污染日趨嚴重，行政院環保署在民國 88 年公布「半 導體製造業空氣污染管制及排放標準」，並於 92 年度進行修正；同時也針對光電 產業研訂「光電製造業空氣污染管制及排放標準」草案。現階段由於光電產業 VOCs 之排放濃度及風量都普遍高於半導體業，其中又以 TFT-LCD 面板製造製程為 VOCs 之最大排放量製程。以半導體及光電業之廢氣特性而言(低濃度、高風量 ) ，目前國 內最常使用之處理方法為沸石濃縮轉輪焚化及流體化床活性碳處理系統為主，而沸 石濃縮轉輪焚化系統所佔比例最高 ( 約 80%) ，此一技術已於國內發展近十年，於 國內應用相當普及，處理技術也隨業者經驗累積及設備精進而日益提昇，然而對於 許多新興製程的使用，部分業者也面臨效率不明原因降低的問題。經濟部工業局為 協助業者因應環保法令管制趨勢，於 92 年度「環保輔導計畫」深入輔導專案，選 定 1 家遭遇沸石濃縮轉輪處理系統效率降低之高科技光電業者 (A 廠 ) ，協助改善處 理設備效率及降低操作成本，雖法令尚未正式公告，但業者希望以最高標準自我期 許，以因應未來日趨嚴格的法令趨勢。 二、製程概況 本案例之光電業者為國際知名大廠，主要產品屬於 TFT-LCD 。LCD 是屬被動 發光式，市場上應用到的 LCD 主要有 TN 、STN 及 TFT 三種，A 廠之產品是屬於 TFT 。TFT-LCD 製造過程中，玻璃基板需經多次「清洗 薄膜 光阻塗佈 曝光 顯影 蝕刻 光阻剝離 洗淨」步驟，始完成陣列基板製造，所得之陣列基板再與 彩色濾光片結合，進行後段面板組裝、裝填液晶、測試等步驟後，方完成 TFT-LCD 成品；TFT-LCD 各製程中所產生之廢氣來源與 STN/TN-LCD 類似，但排放量較大。 三、VOCs 產生源及廢氣特性 工業污染防治 第 93 期(Jan. 2005) 55