X 射线荧光仪真空和进样机械手结构与维修.PDF

实验室建设 X射线荧光仪真空和进样机械手结构与维修 Maintenance of the Structure of X-ray Fluorescence Spectrometers Vacuum and Sample Changer System 邹 昶 陈超 （宝钢股份公司设备部计量检定室上海 201900） Email:zouchang 1975 11@ 摘 要 日本岛津公司与理学公司生产的两类X射线荧光光谱仪的真空和进样机械手系统。根据它们结构的不 同，探讨一些与之对应的故障分析与维护对策。 关键词 射线荧光光谱仪X ；真空系统； 进样机械手 中图分类号 TH83 1 引 言 2.1岛津荧光仪MXF-2100真空故障分析与措施 目前，岛津MXF-2100荧光仪在我厂主要担负着高 X射线荧光光谱仪 （X-ray Fluorescence 炉铁矿石、烧结矿、炉渣、铁水及其他氧化物的常规 Spectrometer）是用X射线管发出初级X射线，激发试 分析任务，试样表面有疏松的氧化层、粉末压块样表 样中的原子，产生各种元素的特征X射线荧光，由晶 面带有浮尘，且试样量大，它们进入真空系统沉淀会 体分光并用探测器测量，根据该特征X荧光谱线的波 污染真空管道、电磁阀阀芯、试样室平台密封圈、光 长和强度进行元素的定性和定量分析。 闸密封圈和真空泵，引起真空故障， 岛津荧光真空系 在宝钢，一分析高炉作业区使用日本岛津公司生 统结构如下图。 产的3台多道荧光仪 （2台MXF-2100和1台MXF-2300） 用于分析铁矿石、烧结矿、炉渣、铁水以及其他氧化 物；2030化学作业区使用日本理学公司生产的2台扫 描型荧光仪（RIX2000和RIX2100）用作冷轧板的涂、镀 层分析，另外在二分析转炉作业区、1420化学作业区 及分析测试中心等地都有不同厂家生产的不同型号的 荧光仪，它们在各种形态物质中元素的平均成分与含 量分析中担负着不可替代的作用。 X射线荧光仪是属大型分析仪器，从维护角度来 图1 MFF-2100真空系统结构 看，结构复杂，故障率相对较高，根据日常的检修，发 现特别是其真空与进样机械手部分故障最为频繁。究 分析步骤 其成因，有内因如仪器本身的结构所致，也有外因如 V1 V2 光闸 描述 分析的试样的状况所致，因此，分析掌握好这两部分 1) 0 1 0 待分析 2) 0 0 0 机械手传送试样 的故障将成为维护好荧光仪最为行之有效的手段。 3) 1 0 0 试样到达试样室 4) 1 0 1 22Pa 2 真空系统故障分析与措施 5) 0 0 0 测完，机械手传送试样 6) 0 1 0 试样到达转盘 荧光仪内配备真空系统的作用