真空镀膜基础.pdf

真空鍍膜基礎 明道大學 余建志余建志 日揚科技股份有限公司 98年11月06日 1 目錄 目錄 2 薄膜之應用 薄膜之應用 • 反射膜、增透膜、濾光片 光學 •• 天文望遠鏡天文望遠鏡 、、建築玻璃建築玻璃 、、相機相機 、、燈具燈具 • 導電膜、絕緣膜、保護膜 電子電路 • 邏輯元件邏輯元件 、運算器運算器 、記憶體記憶體 、磁片磁片 、CCDCCD • 透明導電膜、攝像管光導膜、保護膜、 顯示器 •LCD、錄像磁頭 • 蒸發鎳、鉻、鋁、金屬陶瓷、一氧化矽、硒 元件 •電阻、電容、影印機硒鼓 • 裝飾膜 紡織品 •金屬花紋、金絲銀絲線 • 濺鍍、離子鍍功能膜 模具 •刀具超硬膜 • 電弧離子鍍鈦金、濺鍍 消費用品 •鏡面板、扶手、欄杆、不銹鋼薄板、手機外殼、NB機殼 3 真空鍍膜基本要素 真空鍍膜基本要素 設備 製程 檢測 真空腔體 基材 膜層量測 真空腔體 基材 膜層量測 真空泵真空泵 鍍材鍍材 感測元件 鍍膜設計 電氣控制 4 薄膜量測薄膜量測 物理性質 •厚度(不均勻性) 機械特性機械特性 •附著力 •殘留應力 導電性質 •電阻值 •方塊電阻值 光學性質 •透光性 5 薄膜工業規範薄膜工業規範((範例範例)) AZO膜膜指標 400400--800800 nmnm波段內光平均透過率波段內光平均透過率TT TT 84%84% 400-800 nm波段內光平均透過率不均勻性 5% 400400nm波段內光平均透過率波段內光平均透過率TT TT 81%81% 400-1100 nm波段內光平均透過率不均勻性 5% 方塊電阻Rsqr 100 Ohm/□ 方塊電阻Rsqr不均勻性 5%