纳米压印(新).ppt

4.10.1 工艺原理 4.10.2 分 类 热压印 紫外固化压印 微接触法压印 1 热压印 2 紫外固化压印 大面积滚轴压印工艺 3 微接触法压印 4.10.3 印章 PDMS（聚二甲基硅氧烷） 聚亚安酯 聚酰亚胺 交联的Novolac树脂 存在问题 4.10.4 新方法 1 气相沉积成型工艺 * 第五章 光的偏振 * 纳米压印 伍媛婷 材料科学与工程学院 纳米压印 模具 硅片 留膜 抗蚀剂 紫外光 对准 抗蚀剂减薄 紫外光固化 脱模 刻蚀 纳米压印 纳米压印 3 2 1 纳米压印 3 2 1 纳米压印 卷对卷压印工艺 支撑滚轴 紫外光源 支撑滚轴 支撑滚轴 柔性底板 ETFE模板 涂胶滚轴 液体压印胶 卷对板压印工艺 紫外光源 刚性底板 纳米压印 3 2 1 纳米压印 1 模板的表面修饰 纳米压印 纳米压印 2 模板材料 纳米压印 深宽比过大 深宽比过小 由于固有弹性，很难取得多层工艺时的对准 PDMS PDMS PDMS PDMS PDMS PDMS 纳米压印 用有机硅作沉积剂、PDMS为模板的气相沉积成型工艺图 纳米压印 2 沉积缩印 250nm 250nm 250nm 250nm 250nm 15nm 250nm 250nm 15nm 15nm 15nm 250nm 刻蚀聚硅烷并去胶 刻蚀二氧化硅 将图形转移至硅片并去除残留热氧化物层 Si(100) 热氧化物层 SiO2 聚硅烷 均匀沉积SiO2 刻蚀聚硅烷 纳米压印 3 蘸水笔直写技术 AFM针尖 直写方向 水的弯月面 聚合物分子 纳米压印 4 聚合物探针阵列技术 聚合物探针阵列的制作过程 传统赋形工艺 涂覆弹性聚合物单体到玻璃支撑板 玻璃 聚合物单体 固化脱模 约100μm 聚合物阵列探针压印 胶 压电陶瓷扫描头 （a）具聚合物针尖的阵列照片 （b）聚合物针尖阵列的SEM照片 （b）放大后奥运会图标效果 （a）微型奥运会图标部分区域的SEM照片 纳米压印 5 喷墨直写技术 喷墨直写的折线 喷墨直写的点线 喷墨直写形成的3D 结构