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五腔串联压电泵的设计制作与试验
第 卷 第 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程
10 5 Vol. 10 No. 5
年 月
2012 9 Nanotechnology and Precision Engineering Sept. 2012
五腔串联压电泵的设计制作与试验
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王淑云 ， 阚君武 ， 沈黄桥 ， 傅骏翔 ， 温建明 ， 程光明
（1. 浙江师范大学数理与信息工程学院，金华 321004 ；
2. 浙江师范大学精密机械研究所，金华 321004 ）
摘 要：为提高压电泵的输出能力，提出一种多腔串联压电泵，并从理论和试验两方面进行了研究 理论分析表明，在
.
其他条件确定时，多腔串联压电泵的输出压力与泵腔数量 成正比，输出流量与 % n 成正比 设计制作了金属阀五腔
n 姨 .
串联压电泵，并以水为工作介质测试了工作腔数量不同时的输出特性 结果表明，压电泵工作腔数量不同时，存在不
.
同的最佳工作频率使其输出压力或流量最大，且压力最佳频率及流量最佳频率均随工作泵腔数量的增加而增加，但
增加幅度不同；在最佳频率时，五腔串联泵输出压力及流量均与工作腔数量成正比 在电压为 、工作频率为最佳
. 150 V
频率时， 腔工作时的最大压力和流量分别为 和 ，分别为单腔工作时的 倍和 倍
5 100 kPa 246.54 mL/min 6.7 4.2 .
关键词：压电泵； 压电振子； 多腔串联
中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ）
TH38 A 1672-6030 2012 05-0406-06
Design ， Fabrication and Test of Serial-Connection 5-Chamber
Piezoelectric Pump
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