mpcvd 中甲烷等离子体发射光谱研究 - 核聚变与等离子体物理.pdf

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2017-09-06 发布于天津
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第卷第期核聚变与等离子体物理年月文章编号中甲烷等离子体发射光谱研究郑晓毅徐伟吴智量许百如广州大学物理与电子工程学院广州摘要在微波化学气相沉积装置上采用微波激发氢气甲烷体系等离子体通过光学多道分析仪采集等离子的发射光谱实验表明甲烷在等离子体中的裂解产物主要以基团的形式存在这些基团的发射光谱强度主要受放电压强和放电功率的影响随着微波功率的增加甲烷基团发射光谱强度呈增长的趋势而随着放电压强的增加则是先增大后减小这些实验结果对于理解微波等离子体化学气相沉积中各种反应过程调整薄膜制备工艺提供了参考关键词发

第 32 卷第 3 期核聚变与等离子体物理 Vol.32, No.3 2 0 1 2 年 9 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Sep. 2012 文章编号：0254−6086(2012)03−0278−05 MPCVD 中甲烷等离子体发射光谱研究郑晓毅，徐伟，吴智量，许百如