磁感测器技术研究与应用.PDF

磁感測器技術研究與應用 Research on Magnetic Sensor Technologies and its Applications 鄭振宗 (Jen-Tzong Jeng) 國立高雄應用科技大學機械工程系 微磁技術實驗室 (MMT Lab) Micro Magnetic Technologies Laboratory 1 微磁技術實驗室–研究主題 磁強計 (magnetometers) 超導量子干涉元件 (Superconducting Quantum Interference Devices, SQUID) 巨磁阻 (giant magnetoresistance, GMR) 通量閘 (fluxgate) 渦電流偵測器 (eddy-current detectors) 低頻(10 Hz~10 kHz) ：渦電流缺陷偵測器 高頻 (10 kHz~10 MHz) ：非接觸式距離偵測器 磁感測器應用 心臟磁場量測：SQUID 磁場圖掃描 、磁源電流逆算 ：GMR 硬幣辨識 ：高頻渦電流偵測器 結語 2 合作研究群 (Co-workers) 國立高雄應用科技大學 National Kaohsiung University of Applied Sciences 鄭振宗副教授 –微磁技術實驗室 (MMT Lab) SQUID sensor:許智銘 ,楊倩惠張展耀, 曾琬鈞, ECD Magnetometer driving circuit:許廷宇 ,陳建豪 國立台北科技大學 National Taipei University of Technology 呂志誠副教授 –先進微系統元件實驗室(AMD Lab) Micro-fluxgate: 劉育廷,陳信仲, 趙方毓 Coin validator張文柳: 3 微磁技術實驗室–主要儀器 二維磁場掃描系統 磁控濺鍍 、離子束蝕刻系統 電路板彫刻機 頻譜分析儀 4 磁控濺鍍 、離子束蝕刻系統 規格 ： (1)磁控濺鍍 •交、直流磁控濺鍍電源 •雙濺鍍槍(2”) •溫控加熱器(800ºC, PID) (2)離子束蝕刻 •離子槍(3 cm, Ar) 可旋轉蝕刻台• (360º) 用途 ： •成長YBCO磊晶薄膜 •銀薄膜製作