电容式传感器1.pdf

Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software For evaluation only. 第三章 电容式传感器  优点： 测量范围大 灵敏度高 动态响应时间短 机械损失小 结构简单，适应性强 缺点： 寄生电容影响大 具有非线性输出（变间隙式） 2011-6-9 权义萍 1 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software For evaluation only.  §3-1 电容式传感器的工作原理 §3-2 电容式传感器的测量电路 §3-3 电容式传感器的误差分析 §3-4 电容式传感器的应用 2011-6-9 权义萍 2 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software For evaluation only. §3-1 电容式传感器的工作原理 S   S  由： C  0 r d d     －－两极板间介质的介电常数， 0 r  －－为真空介电常数，   8.8541012 F m 0 0  －－介质的相对介电常数，对于空气介质而言  1 r r 2011-6-9 权义萍 3 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software For evaluation only.  当被测参数d、S、ε 发生变化时，相应的电容发生 r 变化，如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一 个参数时，就可把该参数的变化转换为电容量的变 化，通过测量电路就可转换为电量输出。  故电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质 （变介电常数）型三种。 2011-6-9 权义萍 4 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software For evaluation onl